E84 握手流程(中文版).doc

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 E84　PI/O INTERFACE 概要解説書 中文版 配布先-COPY 計-SUM 承認-APP 調査-CHK 作成-DRAWN 変更来歴 Rev 日付 内容 承認 作成 0 00.11.2 初版 藤原SSG 佐野 Translated by Don Lee/ASTW/Training Center 2007/01/20 目 次 1 背景?目的 4 2 E84とE23之不同點 4 3 限制 4 4 機器構成 4 5 用語說明 5 6 控制信號之種類 6 7 Interlock Timeout 8 8 通信程序 9 8.1 裝載移載 9 8.2 卸載移載 11 9 異常檢測 12 9.1 移載動作開始前之異常 12 9.2 移載動作中之異常 13 9.3 異常移載動作後之異常 14 9.4 GO信號?OFF變化 15 9.5 異常之復舊 15 10　注意事項 15 11　Connector及各信號之分配 16 12　電路圖?Sensor Unit尺寸 18 　　背景?目的 半導體製造工廠中，因隨著晶圓尺寸之擴大，載體重量增加及製造工程複雜化，有導入以AGV/OHT為代表之自動搬送系統（AMHS）的趨勢。AMHS中、製造裝置與OHV（台車）藉由使用Photo I/O之通信、來取得Load/Unload之同步。此Photo I/O通信係藉由SEMI規格來定義、製造裝置及OHV需進行遵守此規格的通信控制。 SEMI規格中、雖定義E23作為上述Photo I/O通信規格、但於’99年以E23為基本而重新定義了功能強化之E84、此E84規格有成為主流的趨勢。本書係記述E84規格之概要。又，本書之對象係定為進行與AMHS裝置及半導體製造裝置間之介面相關的設計/管理。 　　E84とE23之不同點 追加/變更於E84之項目如下。 連續Handoff Sequence 同時Handoff Sequence 追加HO_AVBL信號、ES信號 Timer之規定 改訂Connector pin之分配 　　限制 本書僅記述導入於OHT系統之E84規格。 因此、以下項目與該系統不相關故予以割愛。 連續Handoff/同時Handoff Sequence 使用於連續Handoff之Timer 　　機器構成 圖4.1顯示本規格之E84 I/O Interface的適用例。 図4.1　E84 I/O介面例 　用語説明 表5.1顯示本書使用之用語。 表5.1　用語説明 用語 解説 Active裝置 具備移載機構之裝置。［遵循SEMI E23規格］ （OHT系統中、OHV屬於Active裝置。） Passive裝置 藉由Active裝置來進行移載之裝置。[遵循SEMI E23規格] Passive裝置包含加工裝置/Stocker等。 本書中、Passive裝置係與『裝置』同義。 AMHS裝置 (= Automated Material Handling System) 具有可在Passive裝置間搬送載體之功能的裝置。 RGV: Rail Guided Vehicles / AGV: Automated Guided Vehicles / OHT: Overhead Hoist Transportsなど。 Auto Access Mode AMHS裝置以自動方式進行Handoff之模式。 Manual AccessMode Operator以手動方式進行Handoff之模式。 載體 卡匣/Box/Pod/Boat/FOUP等、用來收藏晶圓之箱子。 [遵循SEMI E1.9規格] Handoff 表示藉由Active裝置對Passive裝置進行裝載及卸載之移載動作。 本書中、係與『裝載/卸載移載』同義。 Handoff干涉區域 Handoff中Active裝置之載體有可能與Passive裝置之載體衝突的空間。 Handoff?Interlock異常 Handoff中Passive裝置檢測到異常之狀