基于连续和脉冲超声波对SiC颗粒粒度表征的对比.pdfVIP

t.n 11 卷第4期 过程工程学报 Vol.1 1No .4 2011 年8 月 The Chinese Joumal ofProcess Engineering Aug . 2011 基于连续和脉冲超声波对SiC 颗粒粒度表征的对比 吴健， 苏明旭， 蔡小舒， 王炜慧， 孙磊 {上海理工大学颗粒与两相流测量研究所，上海 2创灿93) 摘 要:为了研究连续和脉冲超声波2 种不同激励方式对颗粒粒度表征的影响，设计了 2 套分别基于连续和脉冲超声 波对颗粒粒度表征的实验系统，在相同实验条件下，利用一对水浸式探头构成一发一收的模式，采用变声程法，对4 种不同浓度的 SiC 悬烛液声衰减谱进行测量. 结果表明. 2 套系统所测的声衰减谱趋势相同，连续波激励下的声衰减 谱数值偏大 10010左右.结合反演算法得出了 SiC 微粉颗粒的粒度分布，发现不同激励方式下的颗粒粒度分布吻合程度 较好，偏差均在5%以内，说明不同激励方式对颗粒粮度表征最终结果影响不大. 关键词2 连续波: 脉冲波:超声:颗粗粮度:测量 中固分樊号: 0764 文献标识码:A 文章编号: 1009-606X(20 11)04-0549-05 由于超声衰减谱法的复杂性，且2 种方式各有利弊，还 1 前言 未见用 2 种方法对同一样品进行对比测量的报道. 本研 碳化硅(SiC)微粉是磨料行业中常用的研磨材料之 究通过在相同实验条件(相同换能器、样品池和环境温 主要用于0.0762-0.3048 m 的单晶硅、多晶硅、呻 度)下对2 种激励方式进行对比，结合反演算法，发现2 化饵和石英晶体的线切割，是太阳能光伏产业、 半导体 种激励方式下颗粒粒度反演结果较吻合，说明在不同的 产业、压电晶体产业工程性加工材料. SiC 微粉的粒度直 激励方式下，颗粒粒度分布表征的结果体现出了一致性. 接影响磨料的氧化性、成型及胚体密度[14，对 SiC 微 2 SiC 悬浊液声衰减系数测量 粉粒度的测量具有十分重要的意义. SiC 徽粉的常规测量方法主要有电感应法和光散射 2. 1 声囊民系戴测量方法、系统及边程 法(-4J 电感应法基于Coulter 原理，主要用于对 SiC 微粉 为了更好地比较 2 种激励方式对颗粒粒度表征的 的实验室分析，很难实现在线测量.光的穿透能力较弱， 影响，本研究采用相同的测量方法，即透射式变声程法， 光散射难以对较高浓度的 SiC 悬浊液进行测量. 超声衰 实验装置如图 l 所示.超声换能器在不同声程 LI 和 L 2 碱谱法具有穿透能力强、传感器耐污损、自动化程度高 下接收声波信号，声衰减系数 表示为