Silvaco TCAD 器件仿真2.pptVIP

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2017-06-11 发布于湖北
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Silvaco TCAD 器件仿真2.ppt

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Silvaco TCAD 器件仿真2

三维结构生成得到三维结构只需在二维结构生成的语法基础上添加Z轴的坐标如z.mesh=..., z.min=… ,z.max=… * Silvaco学习 * ATLAS描述三维二极管结构 * Silvaco学习 * go atlas mesh three.d x.mesh loc=0.00 spac=0.05 x.mesh loc=0.1 spac=0.05 y.mesh loc=0.00 spac=0.20 y.mesh loc=1.00 spac=0.01 y.mesh loc=2.00 spac=0.20 z.mesh loc=0.00 spac=0.02 z.mesh loc=1.00 spac=0.02 region number=1 material=silicon x.min=0.0 x.max=1 \ y.min=0.0 y.max=1.0 z.min=0 z.max=1 region number=2 material=silicon x.min=0.0 x.max=1 \ y.min=1.0 y.max=2.0 z.min=0 z.max=1 electrode name=anode x.min=0 x.max=0.1 y.min=-0.01 y.max=0 z.min=0 z.max=1 electrode name=cathode x.min=0 x.max=0.1 y.min=2 y.max=2.01 z.min=0 z.max=1 doping uniform conc=1e18 n.type region=1 doping uniform conc=1e18 p.type region=2 save outfile=diode_3d.str DevEdit 3D的例子 * Silvaco学习 * Diodeex08.in Mos2ex04.in 下一讲安排材料特性设置物理模型设置特性获取结果分析 * Silvaco学习 * 谢谢！ * * Silvaco学习交流时间 * * Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco TCAD 器件仿真（二） Tang shaohua, SCU * * Silvaco学习 E-Mail: shaohuachn@126.com shaohuachn@ 上一讲知识回顾和本讲内容上一讲内容：器件仿真的整体思路器件结构，材料特性，物理模型，计算方法，特性获取和分析这一讲安排器件结构生成（2D/3D） ATLAS语法描述结构 DevEdit编辑结构 * * Silvaco学习器件仿真流程 * Silvaco学习 * ATLAS描述器件结构 ATLAS描述器件结构的步骤 * Silvaco学习 * mesh region electrode doping mesh 网格定义，状态有mesh,x.mesh,y.mesh,eliminate等 Mesh对网格进行控制 x.mesh和y.mesh定义网格位置及其间隔(line) * Silvaco学习 * mesh space.mult=1.5 mesh infile=nmos.str x.mesh loc=0.1 spac=0.05 mesh Eliminate可以在ATLAS生成的mesh基础上消除掉一些网格线，消除方式为隔一条删一条参数columns,rows, ix.low,ix.high,iy.low.ly.high, x.min,x.max,y.min,y.max * Silvaco学习 * Eliminate columns x.min=0.2 x.max=1.4 y.min=0.2 y.max=0.7 Eliminate 前 Eliminate 后 region Region将mesh中不同位置以区域组织起来语法：Region number=n material position * Silvaco学习 * region num=1 y.max=0.5 silicon region num=2 y.min=0.5 y.max=1.0 x.min=0 x.max=1.0 oxide region num=3 y.min=1.0 y.max=2.0 x.min=0 x.max=1.0 GaAs 例句：