硅基HAAl2O3复合生物涂层的制备与表征.pdfVIP

吴振军等：硅基HA／Al：0。复合生物涂层的制备与表征 硅基HA／A1203复合生物涂层的制备与表征。 吴振军，杨 妍，陈宗璋，李素芳 (湖南大学化学化工学院，湖南长沙410082) 摘要：通过磁控溅射沉积、阳极氧化与溶胶一凝胶 了表征，期望为单晶硅的表面生物学改性提供新的途 径。 结合的多步技术在Si(100)表面制备了HA／A120。复 合生物涂层材料。采用TGDSC测定了复合涂层中 2 实 验 HA外层的烧成温度，采用XRD、FT-IR以及EDS分 析了Si(100)基HA／AI：03复合生物涂层的组成，并2．1材料制备 借助SEM研究了复合涂层的表面与截面的微观形貌。 研究表明，凝胶完全转变为HA外层的最低温度约为 550℃，凝胶经600℃处理30min后可在Si(100)一 Al：03基上形成具有一定数量纳米细孔且含有少量 C03的HA外层；HA外层嵌入Si(100)基阳极氧化 Al。03多孔层的孔洞中构成HA／Al。03复合生物涂为电源，以Si(100)铝膜为阳极，纯铝片为阴极进行阳 层。 关键词：Silloo)；HA／Al。03；复合生物涂层；阳极 氧化；溶胶一凝胶 搅拌。 中图分类号： TQl74．1 文献标识码：A 文章编号：100l一9731《2008)08一1355一04 1．67。1的摩尔比溶入无水乙醇，磁力搅拌2h形成溶 1 引 言 单晶硅是制作生物芯片(biochips)、微传感器(mi—浸入陈化处理的溶胶中，并在超声器(80kHz)中处理 cr铲senS0rs)、微电子机械系统(micro-electr0-mechanj— cal system，MEMS)等微型器件的关键材料[¨，这些微 15min使溶胶转变为凝胶，最后在坩埚电阻炉中分别 型器件具有使用体积小、灵敏度高以及易于操控等优 点，在生物学和医学领域具有极大的应用潜力。但单 Al：03复合生物涂层材料。 晶硅为生物惰性材料，需进行表面生物学改性以扩大 2．2表征与分析 其在生物学和医学领域的应用[2]。目前，仅有少量研 究工作涉及改善硅片的表面生物学性能，采用的方法 包括离子注入[引、化学沉积[¨、溶胶一凝胶(so卜gel)衍射仪(XRD，Siemens 法[5]、仿生沉积[6]等几种方法。但离子注入改性所需 设备昂贵，采用其它方法，如化学沉积涉及的高温处理 IR，PE SpectrumOne，美国)分析复合生物涂层的相 过程通常会导致在HA涂层中形成生物相容性较差的 磷酸钙盐，从而使HA涂层生物学性能下降。 20kV，日本)观察复合生物涂层表面与截面的微观形 我们在前期研究工作中，采用物理气相沉积、阳极 貌，能谱仪(EDS)测定复合生物涂层截面的元素分布。 氧化、电沉积和水热处理多步合成法在金属Ti表面成 3结果与讨论 功制备了HA／Al。03复合生物涂层，发现通过引入具 有多孔网装结构的阳极氧化Al：03中间过渡层，有助3．1 热重一差热(TGDSC)分析 于改善HA涂层与基材的结合强度[7]．本工作以阳极 氧化Al。03作为中间过渡层，采用溶胶一凝胶(sol—gel)如图1所示。从图1中热重(TG)曲线可以清楚地看 技术制备HA外层，在Si(100)基表面成功构造了 出，在升温过程中，样品先后经历了30～100℃、150～ HA／A1。03复合生物涂层并对其成分与形貌结构进行 ·基金项目：国家自然科学基金资助项目 收到初稿日期：2007-12一14 收到修改稿日期：2008一04一10 通