镀SiO2膜玻璃基片上SnO2Sb薄膜的溶胶-凝胶法制备及表征.pdfVIP

第33卷第5期 硅酸盐学报 V01．33，No．5 OO5 2OO5年5月 JOURNAL0FTHECHINESECERAMICSOCIETY May，2 张 君，赵青南，陈甲林，赵修建 (武汉理工大学，硅酸盐材料工程教育部重点实验室，武汉 430070) K范围内热处理60min时，薄膜以四方相金红石 膜。对不同热处理温度下薄膜样品的结构和性能进行了表征。结果表明：在673～823 结构存在；随着热处理温度的提高，晶面衍射峰由宽化趋向尖锐，结晶逐渐完善；薄膜中的Sn以+4价的形式存在，掺杂的sb以+5和 K和723K时，凝胶中的c没有完全燃尽，以c～0和c一0形式存在于薄膜中。镀膜样品的可见光平均 +3价形式存在；当温度为673 透过率随热处理温度的升高而增大；在热处理温度相同时，预先镀有Sioz膜的玻璃基片上制备的锑掺杂二氧化锡(ATO)薄膜的方块电阻较没 有镀Si02的小。 关键词：锑掺杂二氧化锡薄膜；钠钙硅玻璃基片；热处理温度；溶胶一凝胶 中圈分类号：0614文献标识码：A 文章编号：0454—5648(2005)05一0553一06 FILMCoATEDoN SODA—LIMEGLASS PREPARATIoNoF Si02一COATED Sn02：Sb BYSoL—GELMETHoDANDITSCHARACTERIZATION ZHANGJ“挖，ZHA0 J缸“n，ZHAOXi幻缸n Qing恕n，z，CHEN (The ofSilicateMaterialsScienceand of ofEducation，Wuhan KeyLaboratory EngineeringMinistry of 430070，China) UniversityTechn0109y，Wuhan and filmsof m01e tinoxidewere onsoda-limesubstrateswith without Abstract：Thin8．O％in antimony-dopeddeposited glass the treateddifferent werecharacter— the method．Thestructureand of films at Si02一coatedby s01一gel properties temperatures ized and instrument．There— byX—raydiffraction(XRD)，X—rayphotoelectronspectroscopy，UV—Visspectrometerfour—probe