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频闪干涉仪在微机电系统动态表征中的应用.pdf
第2卷第4期 纳米技术与精密工程 V01．2No．4
200h4年12月 N蛐oteclIllolo留柚d Dec．2004
P阳cisi蚰E呼nee—ng
频闪干涉仪在微机电系统动态表征中的应用
郭 彤，胡春光，胡晓东，’栗大超，金翠云，傅 星，胡小唐
(天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072)
摘要：微机电系统(MEMs)测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈，其中一个重要方
面就是MEMS器件动态特性的高速可视化．介绍了一种基于计算机控制的频闪干涉测试系统，用来测量可动
MEMS器件的离面运动，实现了纳米级分辨力．该系统采用改进的相移干涉算法，使用一个大功率激光二极管(LD)
作为频闪照明的光源，可以实现1MHz范围内大幅值(十几微米)的微运动测量．这种高离面灵敏度的测量方法特
别适合进行微机械(光学)元件的动态特性测量．通过研究一个多晶硅微谐振器的动态特性说明了系统的强大
’
功能．
关键词：微机电系统(MEMs)；微谐振器；频闪干涉仪；动态表征；虚拟仪器
中图分类号：THl33．21文献标识码：A 文章编号：1672—6030(2004)04-0294．05
Interferometerfor MEMS
Stroboscopic Dynamic
GUO
Tong，HUChun—guang，HUXiao-dong，LIDa-chao，
JIN
Cui—yun，FUXing，HUXiao—tang
ofPrecision and
(StateLabomtory Instlllments，Tianjin 300072，China)
Key MeasuringTechnology UniVersity，Tianjin
A for MEMSisto datafeedbackofmeasurementstothe and
Abstract： desigll
keypurposetesting proVide
simulationinthe of Visualizationof ofMEMsde-
processdeVelopment，wherehigh-speed dynamicpmperties
VicesisaVery This describesa interfemmeter
importantaspect． paper compute卜controlledstroboscopic system
for motionsofMEMSstructureswithnanometerresolution．Theusesamodi6ed
measuringout一正plane
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