传感器——压电传感器.ppt

第五章 压电传感器 它是利用压电材料制成传感元件的传感器。该传感器利用了压电材料的压电效应，即在外力作用下，该材料的表面产生电荷，从而实现非电量的电测。 压电传感器的特点：频响好；灵敏度高；信噪比大。 参考书：? 压电学? 张福学 压电传感器主要内容 工作原理——压电效应 石英晶体 压电陶瓷 压电材料 测量电路 等效电路 测量电路——电压放大器和电荷放大器 补偿技术 应用简介 第一节 压电效应 1、现象：对于某些电介质材料，当沿一定方向对其 施力时，因其内部的极化现象，该材料表 面产生符号相反的电荷；当外力不存在 时，重新恢复不带电状态，该现象称作压 电效应（或正压电效应）。 反之，当在其表面加以电场时，该电介质会产生形变，该现象称为逆压电效应。 2、工作原理 （1）石英晶体压电效应的定性分析： 石英晶体：一般为正六面体。 坐标系：x轴为电轴，与棱线垂直；y轴为机械轴；z 轴为光轴，与横截面垂直——主轴坐标系。 硅氧离子在（0，0，1）晶面的排列：位于正六面体横截面的六个顶角上，由此形成三对偶极矩互成1200的偶极子。且有： ，所以合偶极矩为0。 即F=0时，石英晶体不显电性。 石英晶体的压电效应 当晶体受到x方向作用力时， 若Fx大于0（拉力），则有： 。 即在x轴正方向产生负电荷，在x轴负方向产生正电荷；在y和z方向不产生电荷。 若Fx小于0 （压力），则有： 。 即在x轴正方向产生正电荷，在x轴负方向产生负电荷；在y和z方向不产生电荷。 总之，当晶体受到沿x方向的作用力时，它将在x轴方向产生正压电效应，在y和z方向不产生压电效应。这称为纵向压电效应。 石英晶体的压电效应 当受到y方向作用力时， 若Fy大于0 （拉力），则有： 。 即在x轴正方向出现正电荷，与Fx小于0的情况相同。 若Fy小于0 （压力），则有： 。 即在x轴正方向出现负电荷，与Fx大于0的情况相同。 当晶体受到沿y方向的作用力时，它将在x轴方向产生正压电效应，在y和z方向不产生压电效应。这称为横向压电效应。 石英晶体的压电效应 当受到z轴方向作用力时，石英晶体不存在压电效应。 石英晶体的压电效应 （2）石英晶体压电效应的定量分析： 沿一定晶向切割的晶体切片，设其长、宽、高分别为l、t、b，在垂直x轴的晶面上镀以电极，当它受到沿x方向的应力时，有极化强度： 且在弹性范围内，极化强度与应力呈正比，有： 石英晶体的压电效应 纵向压电效应可以写成：（其中q为电量，d为压电系数） 或 横向压电效应可以写成： 或 结 论 输入信号（F）与输出信号（q）呈线性关系； 石英晶体的光轴不存在压电效应； 电轴的正压电效应较强； 纵向压电效应产生的电量q与晶体尺寸无关； 横向压电效应产生的电量q与晶体尺寸有关； 正压电效应和逆压电效应两者共存。 （3）一般情况 压电效应可写为： （正） 其中 为电荷面密度；i=1，2，3为晶体极化 方向；j=1—6为晶体应力方向。 此外， 是3Х1阶矩阵； 是3Х6阶矩阵； 是 6Х1阶矩阵。 压电系数d的几点说明 d与切割方向有关，不同的切型有不同的d。 物理意义：在“短路条件”下，单位应力产生的电荷 面密度。 短路条件：压电元件的表面电荷一经产生就立即被 引开，从而晶体上的形变不存在“二次 效应”。 （4）压电陶瓷