第7章光栅.ppt

§5-3 衍射光栅 5.3.2 衍射光栅应用例 1．光谱仪 球面反射镜 接收部分 谱面 闪耀光栅 转台 准直部分 反射镜 狭缝 聚光镜 光源 利特罗自准直光谱仪 §5-3 衍射光栅 5.3.2 衍射光栅应用例 2．光波分复用器 6.2o 自聚焦透镜 输出光纤 输入光纤 λ1~λ5 光栅 玻璃楔 125μm 光栅型波分复用器结构示意图 λ1 λ5 §5-3 衍射光栅 5.3.2 衍射光栅应用例 3．光纤光栅 光纤光栅是最近几年发展最为迅速的光纤无源器件之一。光纤光栅利用光纤材料的光敏性（外界入射光和掺锗光纤纤芯内锗离子相互作用引起折射率的永久性变化），在纤芯内形成空间相位光栅，其作用实质上是纤芯内形成一个窄带的（透射或反射）滤波器或反射镜。 目前制作的光纤光栅反射率R可达98％，反射谱宽为1nm。 §5-3 衍射光栅 5.3.2 衍射光栅应用例 4．光栅分束器 氦氖激光器 光栅1 光栅2 成像透镜 滤波孔径 干涉图平面 偏振器 准直镜 待检表面 掠入射干涉仪光路图 长光栅莫尔条纹 播放动画 长光栅光闸莫尔条纹 播放动画 * 同刻线交点构成亮条纹，刻线与亮线交点构成暗条纹。 * 当d1=d2时，α=θ/2 将 d2 =d1 cosθ代入 B=d2/sinθ得B= d1ctgθ=W * * 图7-18 所示为光柵测长的原理图。它先将长度量变换成莫尔条纹信号，然后再用光电器件读取长度信息，这种光栅又称为长光栅或长光栅付。它包含指示光栅与标尺光栅，指示光栅固定，标尺光栅的长度由位移量决定，一般较长。 * 图7-19所示为测角度用的圆光栅的原理图。圆光栅付包括指示光栅与圆光栅盘。圆光栅盘是在玻璃圆盘上等间隔地刻线制成。圆盘光栅与指示光栅重叠产生莫尔条纹。圆盘光栅固定在转轴上，可以转动。 * 图案不均匀，光脉冲不一样，它是在可运动的光学元件的各位置坐标上刻制出表示相应坐标的代码形式的绝对地址，在元件运动过程中读取这些代码，即能实时测得坐标的变化。 * 图4.18所示为光栅数显表在机床进给运动中的应用。在机床操作过程中，由于用数显方式代替了传统的标尺刻度读数，大大提高了加工精度和加工效率。以横向进给为例，光栅读数头固定在工作台上，尺身固定在床鞍上，当工作台沿着床鞍左右运动时，工作台移动的位移量（相对值或绝对值）可通过数字显示装置显示出来。 * 用正弦信号或余弦信号细分的原理及缺点。信号幅值确定，如5V。 理论上消除了U0的影响。 50 pl/mm * * 200细分360 ° /200=1.80° * 为使零位脉冲和主光栅计数脉冲同步，令脉冲宽度应等于或稍大于主光栅栅距。 * 图4.17所示为微机光栅数显表的组成框图，在微机光栅数显表中，放大、整形采用传统的集成电路，辨向、细分可由微机来完成。 * 图4.17所示为微机光栅数显表的组成框图，在微机光栅数显表中，放大、整形采用传统的集成电路，辨向、细分可由微机来完成。 图4.18所示为光栅数显表在机床进给运动中的应用。在机床操作过程中，由于用数显方式代替了传统的标尺刻度读数，大大提高了加工精度和加工效率。以横向进给为例，光栅读数头固定在工作台上，尺身固定在床鞍上，当工作台沿着床鞍左右运动时，工作台移动的位移量（相对值或绝对值）可通过数字显示装置显示出来。 数显表在机床进给 运动中的应用 1-横向进给位置检测光栅 2-纵向进给位置检测光栅 3-数字显示装置 2. 应 用 编码器在定位加工中的应用 1—绝对式编码器 2—电动机 3—转轴 4—转盘 5—工件 6—刀具 角编码器除了能直接测量角位移或间接测量直线位移外，可用于数字测速、工位编码、伺服电机控制等。 数控加工中心 编码器在数控加工中心的刀库选刀控制中的应用 旋转刀库 被加工工件 刀具 角编码器的输出为当前刀具号 角编码器与旋转刀库连接 用不同的刀具加工复杂的工件 编码器在伺服电机中的应用 利用编码器测量伺服电机的转速、转角，并通过伺服控制系统控制其各种运行参数。 转速测量 转子磁极位置测量 角位移测量 指示光栅移动的距离： x = nd+δ 大数计数： x1=nd n 移动的栅线对数；d 栅距。 小数计数： x2=δ 不足一周期的小数部分用细分方法求解。 2. 莫尔条纹测量原理及系统组成 光栅系统组成 横向莫尔条纹光栅结构，四倍频细分透镜读数头。 光闸莫尔条纹结构，四倍频细分透镜读数头。指示光栅是四裂相的，每相相差π/2，每相后面置光电管，输出四相光电信号：sin、cos、-sin、-cos。 光栅系统组成 3. 细分辨向原理 3.1 电子学细分和辨向 四倍频细分辨向