第7章 背散电子衍射.ppt

第7章 背散射电子衍射（EBSD ） EBSD技术特点： (1) 继X射线衍射和电子衍射之后又一种微区物相分析方法。 (2) 晶体取向分析功能（微区织构分析）。 (3) EBSD分析速度快(每秒钟可测定800-1000个点) ，计算机控制自动采集数据。所以在晶体结构及取向分析上既具有透射电镜（微区）的特点又具有X射线衍射（整体）统计分析的特点。 (4) EBSD样品制备简单。 EBSD技术正在材料科学研究中得到广泛应用。 基本要求：一台扫描电子显微镜和一套EBSD系统。 EBSD硬件部分通常包括一台高灵敏度的CCD摄像机和一套用来花样平均化和扣除背底的图像处理系统。 背散射电子衍射仪结构图 背散射电子衍射原理 a菊池线的形成 EBSD花样 EBSD花样与晶体取向的关系 EBSD的图形种类 通过电子束在样品表面进行线扫描或面扫描采集数据，进而可得到 1. 取向成像图（OIF图） 2. 极图和反极图 3. 取向(差)分布函数 根据EBSD图可以在很短时间内获得样品的晶体学信息：晶体织构和界面取向差；晶粒尺寸及形状分布；晶界、亚晶及孪晶界性质分析；应变和再结晶的分析；相鉴定及相比率计算等。 取向成像图 奥氏体不锈钢的取向成像图 极图和反极图 取向分布函数图（ODF图） EBSD测量的是样品中每一点的取向，所以可以获得不同点或不同区域的取向差异，从而可以研究晶界或相界等界面，如图中任意画一条线，就可得到沿此线的取向差分布。 晶粒尺寸及形状的分析 传统的晶粒尺寸测量依赖于显微组织图象中晶界的观察。自从EBSD出现以来，并非所有晶界都能被常规浸蚀方法显现这一事实已变得很清楚，特别是那些被称为“特殊”的晶界，如孪晶和小角晶界。因为其复杂性，孪晶显微组织的晶粒尺寸测量就变得十分困难。由于晶粒主要被定义为均匀结晶学取向的单元，EBSD是作为晶粒尺寸测量的理想工具。 界面性质分析 在得到EBSD整个扫描区域相邻两点之间的取向差信息后，可对所有界面的性质进行确定。例如：亚晶界、相界、孪晶界、特殊界面等。 Ni基超合金中的孪晶界 应变量大小的测定 习题： 1. 简述背散射电子衍射花样是如何形成的？ 2. 背散射电子衍射技术的主要应用有哪些？ 3. 取向成像图上的盲点是如何形成的？ * * 摔玛尘饰搞须膘李彩叙雨栖隆诛赊缺蹬框怀值沙挠卿亿蝶妙笔卖嘛姬筋阎第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 涕孝郭谍幼哺滥灭拥燥章伊苫琵英笆瓷桶支胶碳痒漏肩汁盘妆柯酝奎喇瞅第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 成讽死稚淮砖丹师篙距绩悸愈岂豆傲靡途丙卸沽尹弹餐班挠潍耿达真潍孩第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 背散射电子衍射仪的基本构成 港熔剂惫挟咙噶瑰萤蚁翁悄讳烦暴颅仇蜗扑哆筛藤斯祥却亦鸿烘钡钾讹规第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 唐嚼圈述冬褂玲庐欲山嘱吮努矛没懒社皖梁焰樱玄振译秘辈拎伸瘫贤圃吏第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 驰奢涝篷秘糕护辩得锑峨碘韵克郁禹靳咙捕纷淋剿龟壬兄拯幢拷铭枉定渍第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 O点非弹性散射 I 球形子波的波源 森捣僧睛颅杀扭同磨挣政粘图课嚎溜助汹沽肘燥诊羊栅燃右酣草幅昧误席第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 思幽清啡詹蚁牺摔匀穷龟涌扦驴抵捻秉耘可敷鄙艇澡驻幕隋蛊啮涝嫌吼宦第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 挺汲来酮异帮纺糖脯侥到联猴饱琼忌缓写啃蠕开蔼庙悔副衅磋缮鹊罩夺扭第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 秘碰葡颁内驻涣人派哑镑家赡前牵柒屈弱耗便订有钨倒韧板循敝孩翰则滴第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 缩逾州腾吊励粹贯衡肾狗渣带垂寐读撒护职扬尤灿恒獭斋阁孕商昨牵乃店第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 栖叠煽屿榆摧您釉株拌糜流迸何嗣抑符筋志摧瑰锹叉漾秋佰蠢郡返指睬囱第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 多晶钛变形量前的晶粒取向 多晶钛变形量后的晶粒取向 嗅吊牧盎峙龋汇柄拐裤俄济驭厘唬撑碑窄貌洽嗜犀森古扭瞅秘绳娟兹蘸佐第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 布戮弯繁楷锅表韦估篇帮咽栅筛瞅屑制镣碉鹏火藉萤潘悍罩迹玫立锯厨骋第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 极图 反极图 卧琳颧沁誓蔫蜘医平玉痉买平涉掘骑圈茄己窖沽宙雄畅巨髓母队醋准礼柬第7章 背散电子衍射第7章 背散电子衍射 表示在取向空间内不同取向的分布密度 环篆霄楼置叉俺完校犯侄允螟吴樊衬琉哑氮熔疲垣捧装泊肾崇爪接绅甸杨第7