相邻电容传感器设计及ECT技术研究.pdf

摘要 虽然电容传感器是很早的技术之一，但是由于用于测量电容的外部电路以 及电容传感器在工艺制作方面的不足，直到近年来关于电容传感器技术的应用 才得到了突飞猛进的发展。从电脑、手机等电器设备的屏幕触摸功能的广泛应 用，到电容断层层析成像ECT(ElectricalCapacitanceTomography,)技术的出现， 都证明了电容传感器技术尤其是相邻电容传感器技术在精密测试领域的有着广 阔的应用前景。相邻电容传感器的设计成为电容传感器技术研究的热门课题。 因此，研究相邻电容传感器的结构设计并结合具体系统工程中的应用给出更好 的参数优化规则，具有重要的理论意义和实际应用价值。 本文主要围绕相邻电容传感器在设计中出现的参数平衡问题，针对不同系 统工程应用中的特殊要求，以软件仿真与实际测试数据为依据，对其工作原理 及若干相邻电容传感器设计中的关键参数调试、参数确定、应用系统和新型工 业应用ECT技术等进行了系统的深入研究。本文的主要工作及贡献如下： 1． 给出了电容边缘效应在特定电容传感器模型下的数学描述，证明了影响 边缘电容的传感器设计参数。此外，针对目前应用较为广泛的多种传感 器技术，深入探讨了传感器技术发展的背景、分类；研究了经典传感器 技术——光电传感器，压电传感器技术，相邻电容传感器技术的典型应 用以及基本测量原理，系统实现方案、传感器技术的优缺点；补充了三 类流行传感器技术，并对此三类传感器技术进行了基础分析；结合已出 现的多种传感器技术及其在系统工程中应用，对其进行了操作原理的总 结与主流应用归类。 2． 建立了相邻电容传感器的性能综合评价标准体系，填补了以往在设计相 邻电容传感器时没有执行或优化标准的空白。将相邻电容传感器性能分 为穿透深度，信号强度，测量灵敏度与图像重组分辨率等。通过有限元 Element 法(Finite Method，FEM)对传感器总体设计参数，包括相邻电容 传感器极板几何尺寸、材料选择、极板数量、间距以及屏蔽层等，与传 感器测量性能之间的关系进行了定量分析，以验证设计参数对测量性能 影响的结论，并对如何进行参数间的平衡优化给出了定量化实验结果。 3． 设计了三种用于工业电容断层层析成像系统的ECT电容传感器结构，包 括矩形、正八边形与传统圆形ECT传感器，并以圆形ECT传感器为例， 给出了传感器设计参数总体优化规则，对今后ECT传感器设计起到了指 导作用。通过仿真与实际测量实验，推断电容传感器空间结构对于电容 测量结果的影响。利用有限元法(FEM)，对传感器进行了3D建模，数值 分析与仿真，针对屏蔽保护极板对ECT传感器测量结果的影响进行了深 入讨论与分析，利用已优化的ECT电容传感器结合成熟的成像算法对实 验结果进行图像重组，效果理想。 设计了一种针对未知液体安全特性检测的基于电容传感器技术的系统， 弥补了在安全检测方面，对液体等非导电，非金属物质的检测空白。围 绕其中的关键技术进行了深入系统的研究；明确了利用相邻电容传感器 技术实现该系统工程的可行性与重要意义；设计了带状4极板平面板电 容传感器与柱型8极板电容传感器两种多极板相邻电容传感器结构，并 进行了详细的分析与讨论，总结了各传感器结构的优缺点；针对柱型8 极板电容传感器进行了大量软件仿真与实际测量实验；提出了将快速图 像重组技术应用于液体特性检测中的理论。通过大量的成像实验，验证 了设计的柱型8极板电容传感器在保证分辨率的情况下能够大量的降低 系统成本，并且可以应用于未知液体特性检测系统。 设计了一种基于相邻电容传感器的车辆雨雾检测控制系统，并提出了一 种传感器优化设计方案。该系统能够根据车辆挡风玻璃上的雨雾量自动 控制雨刷工作速度；对相邻电容传感器作为雨雾探测单元进行了可行性 分析与系统结构分析，针对专门用于雨雾探测的相邻电容传感器提出了 优化设计，并对最终设计的传感器进行了性能测试与结果分析；由于利 用电容边缘效应测量的相邻电容传感器采集