光反射干涉谱新方法测试薄膜厚度和光学常数.PDFVIP

第39卷第6期 中国测试 Vol.39 No.6 2013年 11月 CHINA MEASUREMENT TEST November，2013 doi院10.11857/j.issn.1674-5124.2013.06.003 光反射干涉谱新方法测试薄膜厚度和光学常数 1袁2 1 2 2 2 2 廖 荣 袁 张海燕 袁 杨铁铮 袁 谈 锬 袁 范 宇 袁 王道然 （1.广东工业大学材料与能源学院，广东 广州 510090；2.华南理工大学电子与信息学院，广东 广州 510641） 摘 要院依据测量薄膜和光之间相互作用可确定薄膜特性的原理，并基于光反射干涉谱与德国最新研发薄膜分析软 该方法 件SCOUT的新方法可测量已知或未知材料的多层薄膜厚度及其折射率n、消光系数k。通过实际测试证明： 可测试单晶硅、玻璃、ITO玻璃基底上沉积薄膜的厚度，样品基本不需要特别准备，对样品无破坏性，测试精准。理论 上可以测量所有透光或半透光薄膜的厚度和光学常数，操作非常简便，适合于镀膜行业的在线检测和实时监控，且 SCOUT软件在多层膜及多种材料的研发、制备等方面具有应用潜力。 关键词院纳米薄膜；光反射干涉谱；薄膜厚度；折射率；消光系数 中图分类号院O484.5曰O435.1曰TM930.12曰TH744.3 文献标志码院A 文章编号院1674-5124渊2013冤06-0010-04 New method for measuring thickness and optical constants of thin film based on light reflection interference spectrum 1，2 1 2 2 2 2 LIAO Rong ，ZHANG Hai-yan ，YANG Tie-zheng ，TAN Tan ，FAN Yu ，WANG Dao-ran （1.School of Materials and Energy，Guangdong University of Technology，Guangzhou 510090，China； 2.School of Electronic and Information Engineering，South China University of Technology， Guangzhou 510641，China） Abstract: According to the principle that the properties of the film can be determined by measuring the interaction between the film and the light，and based on the light reflection interference spectrum and Germany’s new SCOUT thin film analysis software，a new method was utilized to measure the thickness，refractive index and extinction coefficient of the known or unknown multilayer