第08讲 应变式压力传感器.pptVIP

第7讲　压力检测　①Pressure Measurements 压力的概念及单位 应变式压力计 格里克(Guericke) 马德堡半球试验 §3.1　压力的概念及单位 几种通用的非法定的压力计量单位 表压、绝对压力和负压（真空度）的关系 §3.2??? 应变式压力计　Strain Gauge 一、 电阻应变效应 当电阻丝在外力作用下发生机械变形时，其电阻值将发生变化，这种现象称为电阻应变效应。 一、电阻应变效应 金属材料的应变电阻效应 半导体材料的压阻效应 二、电阻丝应变片的结构 1　典型应变计的结构及组成 (1) 敏感栅　应变计中实现应变-电阻转换的敏感元件。它通常由直径为0.015～0.05mm的金属丝绕成栅状，或用金属箔腐蚀成栅状。图中l表示栅长，b表示栅宽。其电阻值一般在100Ω以上。 (2) 基底　为保持敏感栅固定的形状、尺寸和位置，通常用粘结剂将其固结在纸质或胶质的基底上。应变计工作时，基底起着把试件应变准确地传递给敏感栅的作用。为此，基底必须很薄，一般为0.02～0.04mm。有用专门的薄纸制成的基片称为纸基。有用粘结剂和有机树脂薄膜制成的胶基。 (3) 引线　它起着敏感栅与测量电路之间的过渡连接和引导作用。通常取直径约0.1～0.15mm的低阻镀锡铜线，并用钎焊与敏感栅端连接。 (4) 盖层　用纸、胶作成覆盖在敏感栅上的保护层；起着防潮、防蚀、防损等作用。 (5) 粘结剂　在制造应变计时，用它分别把盖层和敏感栅固结于基底；在使用应变计时，用它把应变计基底再粘贴在试件表面的被测部位。因此它也起着传递应变的作用。 2　金属丝式应变片 金属丝式应变片有回线式和短接式二种，如图所示。 回线式最为常用，制作简单，性能稳定，成本低，易粘贴，但其应变横向效应较大。 短接式应变片两端用直径比栅线直径大5～10倍的镀银丝短接。优点是克服了横向效应，但制造工艺复杂。 常用材料：康铜、镍铬铝合金、铁铬铝合金以及铂、铂乌合金等。 3　金属箔式应变片 它是利用照相制版或光刻技术将厚约0.003～0.01mm的金属箔片制成所需图形的敏感栅，也称为应变花。如图。 优点： ① 可制成多种复杂形状尺寸准确的敏感栅，其栅长l可做到0.2mm，以适应不同的测量要求； ② 与被测件粘贴结面积大； ③ 散热条件好，允许电流大，提高了输出灵敏度； ④ 横向效应小。 ⑤ 蠕变和机械滞后小，疲劳寿命长 4　金属薄膜应变片 它是薄膜技术发展的产物。采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1μm以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅，最后再加上保护层。 优点：应变灵敏系数大，允许电流密度大，工作范围广，可达－197～317℃ 缺点：难于控制电阻与温度和时间的变化关系。 5　应变片粘贴 (1) 准备： ① 试件——在粘贴部位的表面，用砂布在与轴向成45°的方向交叉打磨至Ra为6.3μm→清洗净打磨面→划线，确定贴片坐标线→均匀涂一薄层粘结剂作底； ② 应变计——外表和阻值检查→刻划轴向标记→清洗。 (2) 涂胶： 在准备好的试件表面和应变计基底上均匀涂一薄层粘结剂。 (3)贴片： 将涂好胶的应变计与试件，按坐标线对准贴上→用手指顺轴向滚压，去除气泡和多余胶液→按固化条件固化处理。 (4)复查： ①贴片偏差应在许可范围内； ②阻值变化应在测量仪器预调平范围内； ③引线和试件间的绝缘电阻应大于200MΩ。 (5) 接线： 根据工作条件选择好导线，然后通过中介接线片(柱)把应变计引线和导线焊接，并加以固定。 (6) 防护： 在安装好的应变计和引线上涂以中性凡士林油、石蜡(短期防潮)；或石蜡—松香—黄油的混合剂(长期防潮)；或环氧树脂、氯丁橡胶、清漆等(防机械划伤)作防护用，以保证应变计工作性能稳定可靠。 三、主要特性 （2） 横向效应 （3） 机械滞后 （4） 零点漂移和蠕变 （5）应变极限 （6） 动态特性 四、? 温度误差及其补偿 （2） 温度补偿（自补偿法和线路补偿法） ②双丝组合式自补偿应变片 ③??? 电路补偿法 为达到完全补偿，需满足下列三个条件： 五、 测量转换电路　Measurement Circuits 电阻应变计把机械应变信号转换成ΔR/R后，由于应变量及其应变电阻变化一般都很微小，既难以直接精确测量，又不便直接处理。 因此，必须采用转换电路或仪器，把应变计的ΔR/R变化转换成电压或电流变化。 通常采用电桥电路实现这种转换。根据电源的不同，电桥分直流电桥和交流电桥。 电桥如图（a）所示，图中U为供桥电源电压，R1、R2、R3和R4为桥臂，RL为负载内阻，负载电流IL为： 1、等臂电桥 2、第一对称电桥 3、第二对称电桥 六、 应变式传感器应用 1、柱力式传感器 2、梁力式传感器 3、 应变式压力传感