基于有机场效应晶体管的非挥发性存储器研究进展王宏.pdf

2010 年 第 55 卷 第 33 期：3177 ~ 3185 《中国科学》杂志社 评 述 SCIENCE CHINA PRESS 基于有机场效应晶体管的非挥发性存储器研究进展 ①② ①* ② ② ② ② 王宏 , 彭应全 , 姬濯宇 , 刘明 , 商立伟 , 刘兴华 ① 兰州大学物理科学与技术学院, 兰州 730000; ② 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室, 北京 100029 * 联系人, E-mail: yqpeng@ 2010-04-23 收稿, 2010-10-11 接受 国家重点基础研究发展计划(2011CB808404, 2009CB939703)和国家自然科学基金 资助项目 摘要 由于易于集成, 基于有机场效应晶体管的非挥发性存储器件在低成本、轻便、柔 关键词 性存储领域具有广泛的应用前景. 本文综述了浮栅型、有机电介体型和铁电型以及其他 有机非挥发性存储器 一些特殊结构的有机场效应晶体管存储器的最新研究进展, 并对目前所存在的主要问 有机场效应晶体管 题进行了讨论. 浮栅 铁电材料 有机电介体 与传统的无机半导体器件相比, 基于有机半导 苯乙烯(PS)或者聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)修饰二氧 体材料的器件具有成本低、可实现大面积加工、可与 化硅介质层, 并借助光编程过程, 成功实现了有机 柔性基底集成等优点, 因此有机电子学近年来引起 场效应晶体管的 8 值存储, 器件存储信息的保持时 广泛关注[1~4] . 有机半导体器件如有机场效应晶体 间超过250 h. 这是有机场效应晶体管存储器里程碑 [5~7] [8] [9] 式的进展. 目前, 有机场效应晶体管存储器的性能 管 、有机发光二极管 、有机太阳能电池 、化学 和光传感器[10,11]等在柔性电子领域具有广泛的应用 与硅基器件或者其他类型的一些有机存储器件相比 前景. 有机非挥发性存储器是有机电子学的另外一 还有一定差距, 但它显示出了巨大的应用前景. 本 个重要的研究和应用领域. 近年来有机非挥发性存 文简单综述了浮栅型、有机电介体型和铁电型以及 储器取得长足的进展, 多种基于有机小分子或聚合 其他一些特殊结构的有机场效应晶体管存储器的最 物的存储器件被报道, 如有机电双稳态器件[12~16] 、有 新研究进展. 机无机混合存储器件[17] 、基于有机场效应晶体管的 存储器件等[18 ] . 与其他几种结构的存储器件相比, 1 评价有机场效应晶体管存储器件的性能 基于有机场效应晶体管的存储器具有可用单个晶体 参数 管实现、非破坏性读取、易于和有机电路集成等优点, 有机存储器件一般用操作电压、存储窗口、写入 因此基于有机场效应晶体管结构的存储器被认为是 擦除速度、记忆保持时间以及耐受性等性能参数来表 最具有应用前景的一类有机存储器件[19] . 最近, Se- 征. 有机场效应晶体管存储器的理想操作电压小于 kitani 等人[20]在125 μm 厚的柔性衬底上集成了26×26 10 V, 当操作电压过大时电路的功耗很大, 而且器件 的基于有机浮栅晶体管的存储阵列, 器件的擦写次 本身的可靠性会降低. 存储窗口用来表征不同的信 数超过 1000 次. Guo 等人[21]利用基于并五苯和酞