武汉大学材料制备1材料物理制备基础绪论.ppt

1、旋片式油封机械泵 压力范围为~1Pa， 2、油扩散泵 工作在1~10-8Pa之间 3、分子泵： 压力范围为1~10-8Pa， 4、溅射离子泵： 极限压力~10-9Pa， 5、升华泵 极限压力~10-10Pa 作业： 离子泵；扩散泵；分子泵的构造和原理 二、真空室 腔体、观察窗、制备装置等等。 真空度的划分 低真空： 〉102Pa 中真空： 102~10-1Pa 高真空： 10-1~10-5Pa 超高真空： 〈10-5Pa 通常：真空蒸发沉积法：高真空、超高真空 溅射法： 10-2~100Pa 1大气压=1.013*105Pa 密封的方法： 1、橡胶密封圈 2、金属密封圈 密封圈的安装方法： 1 2 3 4 5 6 7 8 1 2 3 4 5 6 7 8 检漏的方法 1、液体蒸发法； 2、气体电离法； 3、质谱仪法； 二、真空的测量 1、热偶真空计：以气体的热导率随气体压强变化的原理设计的。是测量低真空的最常用的手段。 在热偶真空计中，将作为热丝的Pt丝通过恒定电流。达到热平衡后，电流提供的加热功率与通过空间热辐射，金属丝热传导以及气体分子热传导而损失的功率相等，热丝的温度将随真空度的不同而呈现有规律的变化。因而，热电偶电势也会随真空度有规律的变化。在0.1~100Pa的压力范围内气体的热传导将随着气体压强的增加而上升，热丝的温度随着气体压强的上升而降低。用热电偶测出热丝的温度，也就相应测出了气体的压强。 热偶真空计测量的范围大致在0.1~100Pa。 皮拉尼真空计（热阻式真空计）其工作原理与热偶真空计相似。 真空计中设置一根拉紧的细白金丝或白金-铑金属线。在金属线上通过电流，并设计控制电路使其保持恒定的温度，所以电阻亦恒定。由于温度恒定，所以金属线的热损耗之中，由热辐射和导线热传导所引起的热损耗是不随气体压强变化的。因此，热损耗的变化只能是由于气体的热传导引起的。如果气体压强从p0变为p时电阻为R的金属线中通过的电流从i0变为i，则： （K为常数） 或者在金属线两端的电压从V0变为V时，可得： 电离真空计： 原理示意图 结构：由阴极、阳极、离子收集 极三个电极构成。 原理：由热阴极发射出的电子在 飞向阳极的过程中碰撞气体分子，使其电离。离子收集接收离子。由于电离后集中在收集极上的离子数正比与气体的含量，所以，测定收集极上的流过的电流就能确定气体压强的大小。 测量范围（10-5~1Pa）由于光电效应，阴极发射的电子碰撞阳极时，使阳极发射软X射线。软X射线照射在收集极上，使其放出光电子，由于光电子产生的光电流相当于10-5Pa的真空条件的离子电流且两者不能区分。所以，电离真空计的上限为10-5Pa。另一方面，当气体的压强为1Pa时电子的自由程太短，已不能使气体产生有效的电离。所以电离真空计的测量范围为10-5~1Pa。 由于这种真空计工作时灯丝处于加热状态，所以，如果工作在低真空或误入空气，灯丝会因氧化而烧断。 B-A型电离真空计： 如果热阴极电离真空计的电极作相反配置：把热阴极置于外侧，把细的线状离子收集极置于中心，那么，由软X射线引起的光电流将变得非常小。 因此，B-A型电离真空计可用于测量超高真空10-8Pa。 三、真空的获得、真空泵 1、旋片式油封机械泵 旋片泵是一种变容式气体传输真空泵，是真空技术中最基本的真空获得设备之一。其工作压力范围为~1Pa，属于低真空泵。可单独使用或作为其他高真空泵的前级泵使用。 结构： 工作原理： 1）吸气过程：当转子旋转时，A空间的体积增加，压力减小，气体经泵的进气口被吸入；2）压缩过程：当转子旋转时，B空间的体积减小，压力增加；3）排气过程：当转子旋转时，C空间的体积进一步缩小，压力进一步增大，当压力超过排气压力时，压缩气体推开泵油密封的排气阀，向大气排气。 A B C 镇气阀：如果泵抽除的气体是永久性气体和可凝性气体的混合气体。在压缩和排气的过程中，当可凝性气体的分压超过泵温下该气体的饱和蒸气压时，可凝性气体将会凝结并混于泵油中，随泵油循环，并在返回高真空侧时重新蒸发变成蒸气。这将影响到泵的抽