微全分析系统芯片几种快速加工方法论文.pdfVIP

礅漉摔矗片实验室进煺 微全分析系统芯片几种快速加工方法 ／ ＼／ 田丽王蔚刘晓为王喜莲、7 50001 nth；滨f业人学MEMS中心黑龙江省喻尔滨市1 E1 Mechanlcal 微型电，机械系统【Microecfro Systems，MEIS)mj?致有狭小宅闻内进 行作业而义不扰乱l卅环境和对象的特点，侄航空航犬、精密仪器、材料、生物医疗等领域 croTotal 有着r泛的应H{满力，并成为纳米技术研究的重要手段。微全分析系统哪i Analysis TAg)以分析化学为基础，微加I。技术为依托的跨学科领域的一¨新技 SysteⅢ．}l 术。其目钓是迸过化学分析设备的微型化与集成化，嚣火陋度地把分析实验室的功能转移到 馊携的分析垃备中，甚至集成到力寸大小的芯片上，统称为“芯片实验室”(1ab—o[／一achip， 【。(Jc)。随着uTAG概念的提出，人量研究者把“一TAS的概念薄先庸硎到了毛细管电泳 (Capillal 的材料主要有单晶砖片、fi英、玻璃、有机聚合物如聚甲基丙烯酸甲酯 PC)等。 聚碳酸酯(Polycarbonate 现阶段所带0作而成的芯片多漂用以玻璃为衬底的标准的微电子加1f艺过程，即光劐一 腐蚀一亨『通孔～键台，L艺过样相对复杂，成品率低，成本较离；p搪帆以其造价低，加l 容翁，热塑性好等优势在LOC领域-‘1有的比倒愈未愈又。目前利川P狮A制作芯片的方法主 要有注塑法、金属丝印模法、硅片印制法、激光烧蚀法等在踟胁t加¨J．微沟道网络，然后 冉通过热压键台方式进行微沟道的封刚：而PDMS芯片的制作儿乎都是由常规光刻法剖得具 有凸形图案的模板、预聚物再铸模和等离子体粘接闭合微孔道三步组成。本文针对具体加r [艺过程，总结出几种简化操作I艺： 1二次模扳加工法加工PD雌村质u-TAg芯片：①Ll超精密机加数控铣床为依托，加工 pm；③莉船粉 锱质金属阳模板，所设计沟道网络可通过编稗设定，赫．f盼尺寸精度可在±j 末压片机将P埘^同金属刚模板表面(有沟道面)热压，制作有机玻璃阴模板，彤成突起棱边； ③墩FP删A模扳，在模板内浇注PD惦，并进{亍I击I纯；④经剥离后，芯片的沟遭面已经成型； @PDMS键台：将新鲜剥离同化后的PDMS片，放入氨水中浸泡1030min取出，用古离子水 反复冲洗，置于80一150℃烘箱保温卜3h，即可实现不可逆键台。 此种J：艺流程制作的PP．4[S苍片具有加『』二艺简 化，T．艺流程少，加fi成本低，ai需要昂贵设备，可 重复性好：而且采用有机玻璃作为二二次模扳由日L使 PDMS脱模容易，沟道不变形；采Hj氨水处理PDMS苍 片表面较使用等离子体照射加工更加容易，操作简 单。 2P枞材质加工p—TAS芯片：①以超精密机加数 控 目tpDMs键古*而嘲 铣床直接在籼芯片滑轰《微沟道网络；②热压键台封 闭 微沟道； 3羹成电化学检测电极的毛细管电泳芯片t①微沟道网络加工同上：②金属丝电极镶 嵌：当高聚物为Ph毗基质时，金属丝电极是用热压方法镶嵌在盏片上；当商聚物为PDMS 基质时，金属丝电极是在浇注盖片时直接镶嵌到盖片上的。金属丝可为Ag，Au、Pt、跗， 直径在0．0卜0．8mm。③将基片和盖片键台，构成芯片。 芯片制作技术