第章 激光在精密测量中.ppt

第6章 激光在精密测量中应用 6.1 激光干涉测长 6.2 激光衍射测量 6.3 激光测距 激光三角测量法基本原理 6.4激光准直及多自由度测量 6.5 激光多普勒测速 6.6 环形激光测量角度和角加速度 6.4.2 激光衍射准直仪 1.利用激光的单色性，让激光束通过一定图案的波带片，产生便于对准的衍射图像，从而提高精度。这种利用衍射原理的激光准直仪叫激光衍射准直仪。它的原理结构如图6-25所示。 图6-25 激光衍射准直仪的原理结构图 2.波带片是一块具有一定遮光图案的平玻璃片（图6-26） 图6-26 波带片示意图 6.4.3 激光多自由度测量 1.四自由度测量系统 2. 五自由度和六自由度测量系统 中心孔式:图6-27(a)所示； 分光式:图6-27(b)所示；反射式:图6-27(c)所示 图6-27 四自由度测量系统的典型结构 五自由度和六自由度的测量，目前主要有两种方式 美国密西根大学研究了一种光学测量系统，可同时测量机床五维几何误差。如图6-28所示 图6-28 波带片示意图 6.4.3 激光多自由度测量 2. 五自由度和六自由度测量系统 日本Nihon大学和Sophia大学研究了一种用于同时测量机床工作台六自由度误差的光学测量系统。如图6-29所示 图6-29 同时测量机床六自由度偏差的原理图 6.5.1 运动微粒散射光的频率 1. 运动微粒上接收到的光源入射光的频率 2. 静止接收器上接收到的运动微粒散射光的频率 如图6-30所示，静止光源O发出一束频率为 的单色光，该单色光入射到与被测流体一起运动(速度为 )的微粒Q上，微粒Q接收到的光的频率是 图6-30 频率为 的单色光入射到速度为 的微粒Q 如图6-31所示，因此在S处接收到的散射光的频率应为 图6-31 S处接收到的微粒Q散射光 的频率 6.5.2 差频法测速 1.参考光束型多普勒测速 图6-32所示为参考光束型测速方法的光路的原理图。 图6-32 参考光束型多普勒测速光学系统 设 和 分别表示参考光和散射光的电矢量的瞬时值 则 合成光强I应正比于合成电矢量的模平方，由四项组成 * 6.1.1 干涉测长的基本原理 1. 激光干涉测长的基本光路是一个迈克尔逊干涉仪,如图6-1示,用干涉条纹来反映被测量的信息。两束光的光程差可以表示为 2.被测长度与干涉条纹变化的次数之间的关系是: 图6-1 激光干涉测长仪的原理图 3.从测量方程出发可以对激光干涉测长系统进行基本误差分析 6.1.2 激光干涉测长系统的组成 1. 除了迈克尔逊干涉仪以外，激光干涉测长系统还包括激光光源，可移动平台，光电显微镜，光电计数器和显示记录装置。 2.迈克尔逊干涉仪是激光干涉测长系统的核心部分，其分光器件、反射器件和总体布局有若干可能的选择。 3.干涉仪的分光器件原理可以分为分波阵面法、分振幅法和分偏振法。 分振幅平行平板分光器和立方棱镜分光器 偏振分光器 4.干涉仪中常用的反射器件:平面反射器、角锥棱镜反射器、直角棱镜反射器、猫眼反射器 图6-2 反射器 5.激光干涉仪的典型光路布局有使用角锥棱镜反射器的光路布局 图6-3 典型光路布局 6. 移相器也是干涉仪测量系统的重要组成部分。常用的移相方法有机械移相（图6-4），翼形板移相，金属膜移相和偏振法移相。 图6-4 机械法移相原理图 7.干涉条纹计数时，通过移相获得两路相差π/2的干涉条纹的光强信号，该信号经放大，整形，倒向及微分等处理,可以获得四个相位依次相差π/2的脉冲信号。 图6-5 判向计数原理框图 6.1.3 激光外差干涉测长技术 1.外差干涉仪：在干涉仪的信号中引入一定频率的载波，使被测信号通过这一载波来传递，干涉仪能够采用交流放大，隔绝外界环境干扰造成的直流电平漂移。 2.产生干涉仪载波信号的方法有两种: 3.双频激光干涉仪的光路如图6-6所示，其中氦氖激光器上沿轴向施加以磁场，由于塞曼效应激光被分裂成有一定频率差的左旋偏振光f1 和右旋偏振光f2 图6-6 双频激光干涉仪光路图 4.测量反射镜运动产生的多普勒频移可以表示为 5.测量镜的位移量可由下式计算 6.1.4 激光干涉测长应用举例 1.激光测角 原理与小角度干涉仪类似,都是采用三角正弦原理。被测的转角为： 图6-7 激光测角原理示意图 1:偏振分光棱镜组；2: 角锥棱镜组；3, 3‘: 检偏器；4, 4’: 光电接收器；5,5‘: 放大器；6: 倍频和计数卡；7: 计算机 6.1.4 激光干涉测长应用举例 2.激光测折射率 也利用双频激光干涉技术 图6-8 双频激光干涉仪测量空气折射率 1:偏振分光棱镜；2: 分光器；3: ?波片；4: 真