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半导体硅片加工过程复合控制策略研究和仿真.pdfVIP

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  • 2017-06-25 发布于湖北
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半导体硅片加工过程复合控制策略研究和仿真.pdf

    系 统 仿 真 学 报 Vol. 17 No. 8 1924 JOURNAL OF SYSTEM SIMULATION Aug. 2005 半导体硅片加工过程复合控制策略研究及仿真 王遵彤, 乔 非, 吴启迪 同济大学CIMS 研究中心, 上海 200092 摘 要 复合优先级控制策略CPC 是一种兼顾投料与调度策略的生产过程综合控制策略 通过比 较加工任务的复合优先级系数 CPC 策略能够确定下一个加工任务 以及决定何时投放新工件 CPC 策略甚至能够暂停非瓶颈设备以避免瓶颈设备前的在制品堆积 仿真结果表明 这种复合控 制策略是一种能够同时优化多种性能指标的生产过程控制策略 可降低加工周期及其方差

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