多线切割机电气控制设计.pdfVIP

■ 电 字 工 业 毫 用 i殳备 材料制备与设备 多线切割机电气控制设计 丁彭刚，王双全 ，庄文波，王亚君 (中国电子科技集团公司第四十五研究所 ，北京 101601) 摘 要 ：多线切割机是硬脆性材料精密切片加工的电子专用设备 。介绍 了多线切割机 的应用，分 析 了切割机加工轴辊的同步控制．提 出了张力控制在切割机 中的重要作用及稳定、有效张力控制 系统 的研 究，分析 了收放线轮的排线控制和切割机的温度和流量控制。 关键词 ：多线切割；同步控制；张力控制；PID控制 中图分类号：TN305．1 文献标识码 ：B 文章编号：1004．4507(2012)03—0031—05 Research onElectricControlofMultiW ireDicing ． — Saw Equipment DINGPenggang，WANGShuangquan，ZHUANGWenbo，WANGYajun (The45thResearchInstituteofCETC，Beijing101601，China) Abstract：Mult ireDicingSaw MachineisEquipementforelectronicproductsmanufacutring．The application oftheMulti ireDicingSaw Equipmentisinrtoduced ，and amultiaxissynchronous — controlisanalysed．Inthearticle，theimportantroleofW ireTensionControlinthemachineisbrought out，andaprofundlyresearch isgiven．Thearrangingwirecontrolwithtemperaturecontrolandflux controlofthecoolingliquidarealsoanalysed． Keywords：MultiW ireDicingSaw；multiaxissynchronouscontrol；W ireTensionConrtol；PID control 多线切割机是一种广泛应用于 IC (集成电 数百或数千片薄片的创新性切片工艺。在该工艺 路)、IT(信息技术)、PV(光伏)行业 中，如单晶硅、 中，切割线被缠绕在一个导线轴辊上，可以一次性 蓝宝石、石英晶体、压电陶瓷、磁性材料、光学玻璃 完成相当于 内外圆切割机数百次的切割量，而且 等硬脆性材料精密切片加工的电子专用设备，是 在切片的弯曲度、翘 曲度、平行度、总厚度公差等 光 电信息产业核心器件基片制造流程 中的关键装 关键技术指标上均明显优于传统的加工设备，多 备。多线切割是 目前最先进的切片加工技术，其原 线切割机 以其切割速度快、加工精度高、切割损耗 理是通过金属线的高速往复运动把磨料带入待切 低 的优点，已逐渐取代