U形阵列式微机械悬臂梁的研究-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 5 ! %’ ! ， ， ， 2,N *5 , * ! UG6HG@P %’ （ ） !Q%(=%’=5 ! =!Q1 R8DR S+T:8R :8R !%’ 8VA6 * SVPM * :,C * ! 形阵列式微机械悬臂梁的研究! 于晓梅 张大成 王丛舜 李 婷 阮 勇 （北京大学微电子学研究所，北京 !#$!） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） % ! %! % ’ ( 为提高悬臂梁的分辨率，实现悬臂梁的多功能性，设计了一种 形阵列式压阻悬臂梁 从理论上对悬臂梁的应 ) * 力、噪声和灵敏度进行分析，优化了悬臂梁及力敏电阻的几何尺寸 选用多晶硅为力敏材料，基于硅微机械加工技 * 术，制备 形阵列式悬臂梁 测量悬臂梁的噪声及灵敏度，得到多晶硅力敏材料的 因子和应变灵敏度系数， ) * +,,-. 分别为 0 和 在 偏压和 测量带宽条件下，计算悬臂梁的最小可探测位移为 同时对多晶硅 / ! %$ * 12 !+3 4567 * 力敏电阻噪声的产生机理进行了探讨* 关键词：悬臂梁，噪声，灵敏度，最小可探测位移 ： ， ， #$$ $!8 $%$ $%%9 发表在“ ”上的一篇文章引起生化传感器研究 :CA.6C. !4 引 言 者的震动，他们利用阵列式光学悬臂梁成功地检测 出微量 链、 链低核苷酸分子，同时还对不同动 !1 !% 扫描力显微镜（ ）是众所周知的高灵敏度检 物进行了免疫球蛋白测定 英国剑桥大学的纳米科 :9; * 测仪器 它的工作原理是将探针固定在一个对微弱 技组研制出用于检测低密度脂肪蛋白质和脱氧低密 * 力非常敏感的微悬臂梁上，并使探针与待测样品表 度脂肪蛋白质悬臂梁传感器，此技术可用于早期动 ［］ ［］ 面原子间存在力的相互作用，作用在探针与样品间 %