介质阻挡均匀大气压氮气放电特性研究3.PDFVIP

第 55 卷 第 11 期 2006 年 11 月 物 　理 　学 　报 Vol. 55 ,No. 11 ,November ,2006 ( ) 10003290200655 11 592307 ACTA PHYSICA SINICA 2006 Chin. Phys. Soc. 介质阻挡均匀大气压氮气放电特性研究 王艳辉 　王德真 (三束材料改性国家重点实验室 ,大连理工大学物理系 ,大连 　116023) (2005 年 11 月 15 日收到 ;2006 年 4 月 20 日收到修改稿) 　　基于一维流体力学模型 ,对介质阻挡均匀大气压氮气放电特性进行了数值计算研究. 模型中考虑了氮气中主 要的电离 、激发过程 ,所包含的粒子种类为 e ,N ,N+ ,N+ ,N (a1 - ) ,N (A3 + ) . 模拟结果显示 ,氮中的放电具有 2 2 4 2 u 2 u 低气压下汤生放电的特性. 放电电流幅度较小 ,放电过程中气体电压变化缓慢 , 电子密度远低于离子密度 ,而且最 大值出现在阳极 , 电子不能在放电间隙中被俘获 ,不存在中性等离子体区 ,气体中的电场趋于线性变化. 亚稳态 N2 (A3 + ) 和 N (a1 + ) 在整个放电空间都具有非常高的密度 , 比电子密度高三个量级以上 ,亚稳态密度的最大值出 u 2 u 现在阳极 ,这样的分布决定了放电的空间结构. 放电所需的种子电子主要由亚稳态之间潘宁电离提供 ,这种机理使 放电的电离水平较低 ,导致氮气中的放 电只能是汤生放 电. 随着放 电参数的变化 , 多电流峰放 电也可在氮气中 获得. 关键词 : 大气压均匀放电, 介质阻挡放电, 数值模拟 , 氮气 PACC : 5256 , 7750 , 5280D 气压汤生放电,没有形成等离子体正柱区 ,维持放电 1 引 言 所需的种子电子通过其他途径产生. 在文献[11 ] 中 , 这些种子电子被认为是由于高密度的亚稳态粒子流 研究表 明 , 在适当的条件下 , 介质阻挡放 电 扩散到阴极的介质表面导致高的二次电子发射提供 (DBD) 在大气压下可以是稳定的、均匀的[1 —5 ] . 这种 的;而在文献[12 ] 中 ,在不考虑亚稳态粒子流与介质 ( ) 表面相互作用时 ,也可以获得与实验相符的计算结 放电通常被称为大气压辉光放电 APGD . 由于大气 压辉光放电不需要复杂的、昂贵的由“空气真空空 果. 因此 ,氮气中的放 电机理还有待于进一步地研 气”的转换系统 ,因此它在材料表面处理 、薄膜沉积 、 究. 本文采用一维流体力学模型 ,考虑氮气中的主要 医疗器具消毒 、臭氧合成等工业应用中具有非常大 激发 、电离等过程 ,对氮气中均匀大气压放电进行了 的优势. 近年来 ,均匀大气压放电吸引了众多研究者 详细的模拟计算研究. 分析讨论了氮气放电的主要 的注意力 , 已成为等离子体领域的研究热点之一. 国 性质 、形成机理. 结果显示 ,在氮气放电中 ,高密度亚 内也有一些学者在从事这方面的研究工作[6 —8 ] . 目 稳态之间的潘宁电