郭平生陈奕卫.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 文章编号 一 一 一 碳源流量对碳纳米 管厚膜形貌和结构 的影 响 曹章轶 , 孙 卓, 郭平 生, 陈奕卫 华 东师 范大 学纳 米 功 能材 料 和 器件应 用 研 究 中心 , 上 海 摘 要 采用低压化学气相沉积 在镍片上制备 了厚度在 拼 范 围的碳 纳 米管 薄膜 , 研 究 了碳源 乙炔 流量对 碳 纳米管薄膜形 貌和 结构 的影 响 随 乙炔流 量 的增 加 , 碳纳米管薄膜厚度和产量增大 电子显微镜和 拉曼光谱研 究结果表 明, 在 乙炔流量为 下制备 的碳纳米管直径分布范 围最小 , 石 墨化程度最高, 缺 陷密度最 小 , , , 晶形最 完整 随着 乙炔流量 的增大 、 碳 纳米管 的直径分布范 围增大 石 墨化程度 降低 , 缺 陷密度增大 , 非 晶化程度增加 因此 , 通过碳源流量可 以控制碳纳米管薄 膜 的形貌和 结构 关 键 词 碳纳米管 化学气相沉积 扫描 电镜 透射 电镜 拉 曼光谱 中图分类号 文献标识码 引言 、 自从 年