传感器原理与应用 第五章5-1.ppt

5.1 压电效应 某些物质沿某一方向受到外力作用时，会产生变形，同时其内部产生极化现象，此时在这种材料的两个表面产生符号相反的电荷，当外力去掉后，它又重新恢复到不带电的状态，这种现象被称为压电效应。当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变。这种机械能转化为电能的现象称为“正压电效应”或“顺压电效应”。 反之，当在某些物质的极化方向上施加电场，这些材料在某一方向上产生机械变形或机械压力；当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。这种电能转化为机械能的现象称为“逆压电效应”或“电致伸缩效应”。 常见的压电材料可分为两类，即压电单晶体和多晶体压电陶瓷。 压电单晶体有石英(包括天然石英和人造石英)、水溶性压电晶体(包括酒石酸钾钠、酒石酸乙烯二铵、酒石酸二钾、硫酸锤等)；多晶体压电陶瓷有钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅系压电陶瓷、铌酸盐系压电陶瓷和铌镁酸铅压电陶瓷等。 如果从石英晶体中切下一个平行六面体并使其晶面分别平行于Z-Z、Y-Y、X-X轴线。晶片在正常情况下呈现电性。通常把沿电轴(X轴)方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应”，把沿机械轴(Y轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应”，沿光轴(Z轴)方向的作用力不产生压电效应。沿相对两棱加力时，则产生切向效应。压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场愈强，就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时，当外电场去掉后，电畴的极化方向基本变化，即剩余极化强度很大，这时的材料才具有压电特性。 图5-8 压电陶瓷的极化 (a) 未极化; (b) 电极化 陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式表现出来，即在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界 的自由电荷。这些自由 电荷与陶瓷片内的束缚 电荷符号相反而数量相 等，它屏蔽和抵消了陶 瓷片内极化强度对外界 的作用。 图5-9 陶瓷片内束缚电荷与电极上吸附的自由电荷示意图 极化方向 - - - - - ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ 自由电荷 束缚电荷 电极 电极 - - - - - ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ 如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的压力F，陶瓷片将产生压缩形变。片内的正、负束缚电荷之间的距离变小，极化强度也变小。释放部分吸附在电极上的自由电荷，而出现放电现象。 当压力撤消后，陶瓷片 恢复原状，极化强度也 变大，因此电极上又吸 附一部分自由电荷而出 现充电现象。 ——正压电效应 － F ＋ - - - - - ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ - - - - - ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ 极化方向 图5-10 正压电效应示意图 传感器原理与应用——第五章 第5章 压电式传感器 图5-1 正（顺）压电效应示意图 F － － － － － － ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ F F F ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ － － － － － － 图5-2 压电效应的可逆性 逆压电效应 电能 机械能 正压电效应 如图所示为天然石英晶体，其结构形状为一个六角形晶柱，两端为一对称棱锥。 5.1.2 石英晶体的压电效应 在晶体学中，可以把将其用三根互相垂直的轴表示，其中，纵轴Z称为光轴，通过六棱线而垂直于光铀的X铀称为电轴，与X-X轴和Z-Z轴垂直的Y-Y轴 (垂直于六棱柱体的棱面)称为机械轴。 石英晶体具有压电效应，是由其内部分子结构决定的。图５-４是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列。 图中“＋”代表硅离子Si4+， “－”代表氧离子O2-。 2. 石英晶体产生压电效应的微观机理 图5-4 硅氧离子的排列示意图 (a) x y (b) + x y + + - - - 当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。 如图5-5（a）所示。 (a) Fx=0 x y + P1 P2 P3 - - + + - 因为P = qL（q为电荷量，L为 正负电荷之间的距离），此时 正负电荷中心重合，电偶极矩 的矢量和等于零，即 P1+P2+P3＝0 所以晶体表面不产生电荷，呈电中性。 在y、z方向上的分量为: (P1+P2+P3)y = 0