AES定性与定量分析概述.PDF

�� Tutorial of qualification quantification in AES AES定性与定量分析概述 简介 PHI 700Xi PHI 4700 简介 俄歇电子能谱仪（Auger electron spectroscopy ，简称AES ），当电子照射到样品表面时，将有带着样品 特征的Auger 电子从样品表面发射。我们探测Auger 电子的能量和数量，可以确定出元素的种类和元素的含 量。俄歇电子能谱仪可以测量元素周期表中除氢、氦以外的所有元素。实际上能够测量到的特征俄歇电子 只能来自样品表面0.5-7.5nm 的最外层。 基本 原理 3-20keV ( 1) 俄歇电子能谱一般是用能量 的电子轰击样品表面 见图 ，首先将表面原子的内壳层电子击出并形 X 成电子空位，使原子处于激发状态；一般情况下受激原子会把多余的能量以 射线的形式释放出来，产生有 辐射跃迁的推激发过程。但是早在1923年，Rosseland从理论上预言，受激原子还会以无辐射方式进行退 激发的可能；随后的1925年，法国物理学家Pierre Auger在云实验室中发现并证明了无辐射退激发的现象 。即退激化过程中，原子外壳层电子在填补内壳层空位的同时，通过耦合作用把另一个外壳层电子击出， 2 这个被击出的电子就称做俄歇电子（见图 ）。元素周期表中，除氢、氦以外所有的元素，在受激发后都能 产生无辐射退激发，产生俄歇电子。 图1 电子激发样品表面刺激粒子分布 图2 俄歇电子激发示意图 分析 定性与定量分析 元素定性分析： 对应每个元素所发射的俄歇电子动能是特定的，这是AES 作为元素周期表中（除氢、氦以外）化学元素定 性分析的基础。 Z , 对于原子序数为 的原子 俄歇电子的能量可以用下面经验公式计算： Ewxy(Z)=Ew(Z)-Ex(Z)-Ey(Z)-Φ Ew W Ex Ey X Y Φ 为稳态时 壳层的电子能量； 和 则是原子处于激发态下 与 壳层的电子动能； 为俄歇电子离开 固体表面时克服的逸出功Φ. 测得俄歇电子能谱 ，根据Auger 电子谱峰的峰位置和形状，跟标准图谱对比来识别分析区域内所存在的元素 。以ULVAC-PHI的数据处理软件MultiPak为例，该软件集成了元素的键合能的标准谱库，具备元素自动识 MultiPak Acq ( 3) 别功能，方便元素的定性分析。图谱采集完后，在 软件菜单中点击 按钮，将图谱打开 见图 S9D5 ID 4 。点击 按钮对谱线进行微分，然后点击 按钮对谱峰进行自动识别（见图 ）。 图3 积分图谱 图4 微分谱 对定量分析： 俄歇定量分析常用的方法为标样法和相对灵敏度因 子法。标样法是以所分析区内所有元素的纯元素为 标准样品，在相同的测试条件下，测出试样中元素 及标样的强度，所取Auger 电子峰一般为主峰。相 对灵敏度因子法是采用标准数据库中集成的灵敏度 因子作为依据，然后做定量计算。以ULVAC-PHI 的数据处理软件MultiPak为例，该软件集成了全部 元素的灵敏度因子（其中以3kV加速电压下，Ag 标 样359.0eV 峰的作为相对灵敏度因子的基准），用 5 MultiPak Ag