柔性膜式微型电磁驱动器的设计与仿真分析.pdf

维普资讯 MEMS器件与技术 MEMSDevice＆Technology 柔性膜式微型电磁驱动器的设计与仿真分析 苏宇锋 ，杨杰伟 ，赵江铭 ，刘武发 ，陈文元 (1．郑州大学 机 电一体化研 究所，郑州 450001； 2．上海交通大学 微纳米科学技术研究院，薄膜与微细技术教育部重点实验室， 微米纳米加工技术 国家重点实验 室 ，上海 200030) 摘要：硅橡胶具有生物兼容性好且制作技术与微细加工工艺兼容 的优 点，采用硅橡胶作为 MEMS驱动器中的振动膜具有较好的应用前景。研 究了一种微型 电磁驱动器，由内嵌永磁体阵 列的柔性硅橡胶 (PDMS)振动膜和线圈两层构成，采用 电镀 工艺制作线圈层；采用 电镀方法制 作磁体 阵列，由甩胶机旋涂硅橡胶并进行 固化 ，制作 内嵌磁体阵列的硅橡胶膜 ，对磁体磁化后可 作为双向驱动器。对该驱动器进行 了理论分析与数值模拟，采用有限元分析工具 ANsYs对微驱 动器的电磁驱动力及其挠度进行分析 ，二者结果基本一致 ，振动膜 中心最大挠度的分析误差为 7．96 ，其一阶 固有频率的分析误差为 16．1 。 关键词 ：微型驱动 器；电磁驱动 ；硅橡胶 ；数值模拟 ；电镀 中图分类号 ：TH702；TH703．8 文献标识码 ：A 文章编号 ：1671—4776 (2008)06—0356—05 DesignandSimulation ofanElectromagneticM icroactuator Based onFlexibleDiaphragm SuYufeng’，YangJiewei’，ZhaoJiangming’，LiuWufa ，ChenWenyuan (1， InsitituteofMechatronicsResearch，ZhengzhouUniversity，Zhengzhou450001，China； 2．ResearchinstituteofMicro／NanometerScienceandTechnology，KeyLaboratoryfor Filmand MicrofabricationofMinistryofEducation，NationalKeyLaboratoryforMicro／NanoFabrication Technology，ShanghaiJiaoTongUniversity，Shanghai200030，China) Abstract：A bi—directionalelectromagnetic microactuatorwas discussed． The m icroactuatoriS composedofan integrated planarcoiland a flexible polydimethylsiloxane (PDMS) diaphragm embeddedwithapermanentmagnetarray． Thecoilwaselectroplated ona siliconwafer． And themagnetarraywasfirstelectroplatedonanotherwafer，thenPDMSwasspin—coatedandcured tocoverthemagnetarray．Theoreticalanalysisandnumericalsimulationwerepresentedforthe characterizationoftheelectromagneticm icroactuator． Thedeviation betweenthetwomethodsiS 7．96 and16．1 forthedeflectionandthefirstresonantfrequencyrespectively． Keywords：microactua