高性能纳米磁性薄膜材料的湿法工艺.pdfVIP

维普资讯 技本扫描 高性能纳米磁性薄膜材料的湿法工艺 冯则坤，何华辉 (华中科技大学 电子科学与技术系，湖北武汉 430074) 摘 要：介绍了纳米磁性薄膜材料特性，类型，综述了近年来兴起的湿法工艺及其用湿法工艺制备的纳 米磁性薄膜材料的特性。 关键词：纳米薄膜：磁性材料；电镀 中图分类号：TM271．2 文献标识码：A 文章编号：1001．3830(2003)06-0026-04 ElectrodepositTechnologyofHighPerformanceNano-magneticFilms FENGZe．kun，HEHHa-hui DepartmentofElectronicsScienceandTechnology，HuazhongUniversity ofScienceandTechnology,Wuhan430074,China Abstract：Thecharacteristics，kindsandpreparationtechnologyofnano．magneticfilmsareintroduced．Recent developmentontcehnologyandchraacteristicsofnano-magneticfilmsprepraedbyelectrodepositarereviewde ． Keywords：nnao．magneticfilms； magneticmaterials； electrodeposition 机用环形天线、电感器等，要求能在数百MHz到 1引言 数 GHz的频率范围工作。上述这些要求都是 目前 为满足电子设备小型化的要求，设备工作频 常用的磁性材料无法满足的。 率逐渐向高频方向发展。从kHz到MHz，进而向 材料的薄膜化技术 ，会给材料带来以往无法 GHz频段扩展。为此，对在电子设备中占据很大 实现的许多重要变化 。磁性材料的薄膜化是微磁 体积和重量的磁性器件 ，如电感器、变压器的小 器件的基础，也是将来实现磁性 IC的前提之一。 型化、高频化也提出了很高的要求。在这种背景 本文首先介绍高性能纳米磁性薄膜的种类 、 下，国际上对用磁性薄膜做成的微磁器件的研究 特性，其制备方法通常称之谓干法工艺。然后评 及与半导体器件成为一体的磁性 IC研究十分活 述近年来兴起的具有成本低廉、生产周期短且能 跃。这些器件主要用于便携式信息通信设备，如 实现规模化的湿法工艺。 移动电话等。在这些设备中，为保证其工作稳定 2纳米磁性薄膜材料的类型、特性l1 性及经济性，电源部分的小型化和高效率化是很 重要的。所以薄膜化的磁性器件最早是从各种电 纳米磁性薄膜材料通常有两种类型，即纳米 感器、滤波器、DC／DC变换器中的变压器等开始 磁性多层薄膜材料和纳米磁性颗粒膜材料。 的。 2．1纳米磁性多层膜材料 以往用于磁性器件的NiFe合金、铁氧体等， 纳米磁性多层膜材料结构如图 l所示，它是 不管是饱和磁通密度 。，还是磁导率 的频率特 在合适的基片中交替淀积纳米磁性层、纳米介质 性，远不能满足 日益发展的新型电子设备的要求。 绝缘层 (非磁性层)而构成 ，每层的厚度约为数 例如为了防止滤波器、变压器磁饱和，以及在磁