双靶共溅射制备Cd1-xZnxTe多晶薄膜的性质研究.pdfVIP

汪雪梅 等 ：双靶共溅射制备 Cd…ZnTe多晶薄膜 的性质研究 文章编号：1001～9731(2014)08-08139—04 双靶共溅射制备 Cd一zZnzTe多晶薄膜的性质研究 汪雪梅 ，王文武，武莉莉 ，张立祥，冯 良桓，张静全，李 卫 (四川大学 材料科学与工程学院，成都 610064) 摘 要 ： 采用双靶共溅射法 ，分别在不 同衬底温度、 的禁带宽度范围内。因而它无论在两结还是三结叠层 沉积压强和溅射功率下制备 了Cd…ZnTe多晶薄膜 太阳能电池中均可作为顶电池 吸收层材料 ，因此在叠 样 品，并采用 X射线衍射仪 、X射 线荧光光谱仪 、扫描 层电池中具有重要 的应用价值 。 电子显微镜等方法对制备 的Cd…ZnTe薄膜 的结 制备 Cd…ZnTe多 晶薄膜 的方法很 多 ，如近空 构、成分、形貌和光 电学性质进行测试分析。结果表 间升华_5]、磁控溅射 ]、近空间气相输运 ]、真空蒸 明，300℃衬底温度下制备的 Cd一ZnTe薄膜成分单 发_8和扩散_s等。近空间升华较难控制组分 ，真空蒸 一 ， 立方相结构 ，生长致密，表面颗粒平均大小约 5O 发的沉积粒子能量较低 ，制备的多晶薄膜 晶粒较小 ，致 nm，Cd…ZnTe薄膜在 (111)晶面的 2 值及 晶格常 密性也不理想。磁控溅射 的沉积粒子能量较高，所得 数与Zn组分呈线性关系。Cd一ZnTe薄膜的禁带宽 膜层致密性好 ，与基 片附着牢固，但采用磁控溅射法制 度与组分-z值呈线性关系。随着气压从8Pa降低至 1 备 Cd…ZnTe薄膜主要有 ：按一定 比例混合 高纯 Pa，Cd一ZnTe薄膜的晶粒尺寸增加 ，生长更加致密。 CdTe和 ZnTe粉末热压制成靶材 ，再磁控溅射制备 Cd一ZnTe薄膜的室温 电导率约为 8．61×10 (Q Cd一ZnTe薄膜 ；或采用 固相反应 ，制备不 同组分 的 ·cm)_。，呈弱 P型 。 Cd一ZnTe靶材 ，再用磁控溅射法制备 Cd…ZnTe 关键词 ： Cd一ZnTe薄膜；磁控溅射 ；叠层电池 薄膜 。以上两种方法都不能很方便地控制所制备 中图分类号 ： TN304．2 6 文献标识码 ：A 薄膜的组分 ，所以本文采用 CdTe靶和 ZnTe靶双靶共 DOI：10．3969／j．issn．1001—9731．2014．08．030 溅射的方法制备 Cd一ZnTe多晶薄膜L1 ]，通过调 1 引 言 节两靶的溅射功率来调节 Zn的组分 。 太 阳光光谱的能量分布宽，任何一种半导体材料 2 实 验 制备的单结太阳能 电池都无法充分利用太阳光 ，而叠 采用 JGP450型超真空多功能磁控溅射设备系 层太阳能电池对太 阳光谱的利用率明显要高于单结太 统 ，利用磁控共溅射方法制备 Cd一ZnTe薄膜。靶 阳电池 。叠层太阳能电池的结构设计使得波长较短的 材采用 CdTe合金靶 (99．999 )和 ZnTe合金靶 光先到达宽带隙材料吸收，波长较长 的光能够透射进 (99．999 )，靶材直径为 60mm，靶和基 片 间距 10 去被窄禁带宽度材料吸收_1]，这样就能更大范围地吸 cm，衬底为石英玻璃 ，衬底 自转速度为 2Or／min，溅射 收太阳光谱中的能量 ，从而提高太 阳能电池的转换效