多孔TiO2薄膜的制备研究进展.pdfVIP

· 18 · 材料导报 A：综述篇 2011年 3月(上)第25卷第3期 多孑LTiO2薄膜的制备研究进展 王 达 ，刘建敏 ，周曦亚 (1 华南理工大学材料科学与工程学院，广州 510641；2 华南理工大学化学与化工教学实验中心，广州 510641) 摘要 综述了液相法(包括溶胶一凝胶法、蒸发诱导 自组装法等)、电化学法(包括阳极氧化法、微弧氧化法等)、 物理气相法(包括磁控溅射法、电子束蒸发法等)、化学气相法等制备多孔Ti()2薄膜的方法，介绍了相应的合成原理， 指出不同方法制备的多孔TiOz薄膜在表面形貌、孔径尺寸、取向和孔壁厚度等方面存在很大差异。通过对比不同制 备方法的优缺点并结合工业化生产成本，提 出了今后多孔Ti()2薄膜制备技术的发展方向，并展望了多孔 Ti02薄膜 广阔的应用前景。 关键词 多孔TiOz薄膜 液相法 物理气相法 电化学法 ProgressinPreparationMethodsofPorousTiO2ThinFilms WANGDa ，LIU Jianmin。，ZHOU Xiya (1 SchoolofMaterialsScienceandEngineering，SouthChinaUniversityofTechnology，Guangzhou510641； 2 ChemicalExperimentCenter，SouthCampusofSCUT，South ChinaUniversityofTechnology，Guangzhou510641) Abstract ThepreparationmethodsofporousTi02thinfilms，suchasliquidphaseways(Includingsol—gel，eva- poration-inducedselbassembly，etc．)，physicalvapordepositionways(Includingmagnetronsputtering，electronbeam evaporationdeposition，etc．)，electrochemicalways(Includinganodicoxidation，micro-areoxidation，etc．)aresunlrna— rized，andthepreparingtheoryisintroducedrespectively．DifferentwaysofpreparingporousTiOzthinfilmshave greatdifferenceinsurfacetopography，aperturesize，tropism andwallofholethicknessaspect．Theproblemsinsyn- thesizingporousTi0 thinfilmsandresearchdirectioninthefuturearepointedoutatlast． Keywords porousTiO2thinfilms，liquidphaseways，physicalvapordepositionways，electrochemicalways Ti0 是一种半导体过渡金属氧化物材料，在光催化、生 不同结构、厚度的多孔 Ti02薄膜。本文对近年来多孔 Ti02 物、传感器和高性能太阳能电池等众多领域都有广泛应用。 薄膜的制备方法进行介绍和评述，并展望了今后多孔 Ti02 此外，TiO2还具有无毒、无害、耐腐蚀、使用成本低等特点[1]， 薄膜制备技术的发展 。 因此成为人们研究的热点。 1 液相法 按照国际纯粹和应用化学联合会 (IUPAC)的定义_c2]， 多孔材料按其孔径可分为微孔 (小于 2nm)、介孔 (2～50nm) 液相法又称为湿化学方法 ，是通过控制溶液