制程参数对氮化钛披覆钢材附着性与腐蚀抗性的影响 - 国立清华大学.PDF

國 立 清 華 大 學 碩 士 論 文 製 程 參 數 對 氮 化 鈦 披 覆 鋼 材 附著 性 與 腐 蝕 抗 性 的 影響 The Influence of Process Parameters to Adhesion and Corrosion Resistance on the TiN-coated Stained Steel 所別：工程與系統科學研究所 組別：材料組 學號 姓名：853135 陳佳揚 Jia-Yang Chen 指導教授：喻 冀 平 博士 Dr. Ge-Ping Yu 黃 嘉 宏 博士 Dr. Jia-Hong Huang ㆗華民國八十七年六月 1 目 錄 摘要 ………………………………………………………………. I 致謝辭 ……………………………………………………………. II 目錄………………………………………………………………. III V 表目錄 ……………………………………………………………. 圖目錄 ……………………………………………………………. VI 第㆒章 前言 ……………………………………………………. 1 2 第㆓章 文獻回顧………………………………………………. 2.1 ㆗空陰極放電式電漿離子鍍膜製程……………………………. 2 2.2 覆膜性質 …………………………………………………………. 3 2.2.1 附著性 ……………………………………………………………. 3 2.2.2 覆膜的界面型態 …………………………………………….. 4 2.2.3 覆膜應力型態與週期性斷裂法 …………………………………. 5 2.3 氮化鈦薄膜性質…………………………………………………. 8 2.4 氮化鈦薄膜披覆鋼材之腐蝕抗性………………………………. 10 第㆔章 實驗方法………………………………………………. 11 3.1 鍍膜製程實驗 ……………………………………………………. 16