激光直写法制备仿刚毛微纳阵列的研究 - 中国机械工程.pdf

激光直写法制备仿刚毛微纳阵列的研究———耿路峰 于 敏 浦东林等 暋 暋 暋 激光直写法制备仿刚毛微纳阵列的研究 1 1 2 2 1 耿路峰 于 敏 浦东林 陈林森 戴振东 暋 暋 暋 暋 暋 , , , , 1.南京航空航天大学 南京 210016暋暋2.苏州大学 苏州 215006 : 。 摘要 提出一种采用激光直写技术制备微纳阵列的新方法来制备仿壁虎刚毛二级结构微阵列 该 。 , 制备过程由计算机控制完成 实验制备出具有不同几何尺寸的一级结构阵列 并在此基础上探索制备 , ,“ 暠 二级结构微阵列的三种方案 其中 自上而下 的方案通过对曝光时间和显影时间的控制使第二级结构 , 。 , 、 扎根于第一级结构中 有效提高了两级结构间的连接强度 制备实验的同时 分析了曝光时间 显影时 。 、 。 间等参数对阵列制备的影响 激光直写制备微纳阵列的方法具有高效率 低成本的优点 : ; ; ; 关键词 壁虎刚毛 微制造 二级结构 激光直写 中图分类号: 文章编号: — ( ) — — TN305.7暋暋暋 1004 132X201120 2469 07 FabricationofHierarchicalBio-mimeticGeckoHairArrasBasedonLaserDirectWritin y g 1 1 2 2 1 Gen Lufen 暋YuMin暋PuDonlin暋ChenLinsen暋DaiZhendon g g g g , , 1.Nanin UniversitofAeronauticsAstronauticsNanin 210016 jg y jg , , , 2.SuzhouUniversit SuzhouJiansu215006 y g : , AbstractInsiredb eckoattachmentsstem anewmethodwasroosedtofabricatehierarchi p yg y p p