激光加工的原理与器件.pdf

维普资讯 散《光杂志 l992年第l3卷第2期 竺曼 垒 ! 奠鬯 ·，!! 6号 · 讲座 · 激光加工的原理与器件 旨一 ，c＼ T 1 刘东华 ● ， _ _ 。 ’ 一 (广西工学院激 光研 究所．柳 州) 提要 ：木文叙述激光JlⅢ工的原理、特点，以及激光加工常用 的激光器和加工机等 关键词：墨 ，里些， 鹂畏 Principle and equipment of laserprocessing Liu Don~hua (LaserInstitute．GuagxiInstituteofTechnology．Liuzhou) laserprocessing are discribed· key words： Jaser processing 建径可以做副其频率、相位 、方 向和偏振态 一 、 引 言 等郝完全相 同，因而，激光具有许多宝贵 的 激光加工技术是一种超级加工技术。 自 特性 ，可归纳为亮度高、颜色纯 、方向性好和 从七十年代兴起 以来 ，得副了迅速的发展和 相干性强等四个 方面。由于激光 具有这 四大 日益广泛的应用 。激光加工主要有激光打孔、 特点，所 以激光束可在 时间上和空间上 ，实 切剂、焊接、热处理和微细加工等方式 ，在 现高度的集 中，也就是说 ，激光具有 良好的 机械 、汽车、冶金、能源 、造船、轻工 、微 聚集性能 。强大的激光束，经过聚焦后 ，可 电子 、以及 国防军工等部 门有着广 泛的应用 。 以形成微细的光斑 ，从而选到极高 的功率密 激光加工技术 的研究开发 ，已列为国家科委 度 (如1O～l0W ／cm*)。其亮度和威力大大超 以及 中国科学 院重中之重 的研 究开发项 目， 过普通 的光源 ，甚至 比世 界上最强大 的光源 其 目的是研制、开发、生产实用化 的激光加 太阳 的亮度还要高 数亿倍 ： 工设备 ．大力研究开发激光加工技术 ，积极 激 光的聚焦特性 与其 波长 、模式 、发 敞 推 广激 党加工技术 的立 塌，为我国四化建设 角、 以及聚焦透镜 的焦距 箐因素有 关。激光 作出重走的贡献。 的横模通常用TEMmn标记，TEM表示 横向 电磁波，m表示光斑在X方向的节线数，n表 二 激光的特性 示光斑在Y方 向的节线数 ，若m，Ⅱ均为 零， 激光器是一种受激辐射的特殊光源。从 这种光源 中发射 出来 的激光 竖过种种技术 1991年1O月 16丑枉稿 ·85 · 维普资讯 《澈光杂志》 1992i~第 13尝第 21∞ LA