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利用ICP法测定ZnMgO薄膜的Mg组分.pdf
第 55 卷第6 期 2(阳年6 月
物理学报
Vo1.55.No.6.Ju肘.2肌M
I 仪阳-329012006155 (06) 13013-05 ACTA PHYSrCA SINlCA @2悦}6 Chin. Phvs .Soc
利用 ICP 法测定 ZnMgO 薄膜的 Mg 组分
延风平1 )2)t 简水生 1 ) 尾形健_3) 小池一步2) 佐位诚房2)3) 井上正崇川 失野满明川)
1)(北京交通大学光战技术研究所，北京 100044)
2)(N~Yo Ma协rial Re柳arch Cenler ，。圳ωIn锦ilute of Technology 0渊ka ， J，印刷)
3) (Bio Venlure Ccnt町， Osaka 1阳出ute (Jf Technology , OBaka , Jap四)
(2四5 年 10 月 13 日收到浦刷年 1 月 12 日收到修改楠)
利用电感偶合碎肉子体(ICP) 装置对分子束外延(MBE)法应 Sapphire 衬底上也长的 Zn ~Mg~O 薄膜的 Mg !ff 分
l
进行 f测试、经理论分析，得到使用 1 次和 2 次检殷式所确定的 Zn Mgm分的禁界将采用 l 次
薄膜中的
Mι0
1
…‘
检簸式的 ICP 测Æ与 EPMA 测定结巢进行对照.表明细 Mg 组分 x 忍0.5 时二三者的测试结果栩当 数，由此证明 ICP
测试纺泉的E确性.
关键诩: ZnMgO薄膜. Mg 组分，分子-*外延(MBE) .也J谧销合等离子体(IcP)
PACC: 7360F. 5275R
/:h 工作于紫外光波长陈域的j盏台子任意波长的光电
于材料但是，由于加。晶体足 Wurtzite 纷构， M草。
1.寻|
晶体是 rocksalt 结构，因而当 Mg 掺杂量越过一定盈
随祷 DVD 存贮器、紫外传感苦苦、彩色场致发光，
时会产生相分离‘则此，如何校制生长条件，使在不
|非视线通信辛辛领域的发展，用于制作蓝蓝色淡紫外闹 产依相分离的条件下，尽数提高 Mg 的掺杂最就成
过5激光器、发光…极钙手u 光梭测器等的半峰{牛材料 为 ZnMgO 晶体研究的遥望罢课题另一Jj 剧，如何快
成为新型半导体材料研究领域的蓝蓝Z 内容经过长 速准
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