光学透射球面检测装置.pdfVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局 [51]Int.CI. G01B 11/24 (2006.01) [12]发明专利申请公布说明书 G01B 11/255 (2006.01) [21]申请号 200810024553.5 G01M 11/02 (2006.01) G02B 3/00 (2006.01) [43]公开日 2009年9月30日 [11]公开号 CN 101545760A [22]申请日 2008.03.26 [74]专利代理机构 南京理工大学专利中心 代理人 张骏鸣 [21]申请号 200810024553.5 [71]申请人 南京理工大学 地址 210094江苏省南京市孝陵卫200号 G02B 1/10 (2006.01) [72]发明人 高志山 朱日宏 陈磊 王青 何勇 权利要求书 1 页 说明书 4 页 附图 3 页 [54]发明名称 光学透射球面检测装置 [57]摘要 本发明公开了一种用于透镜凸凹球面面形质量 检验的光学透射球面检测装置，其特征是采用球面 非接触干涉的方法，通过一组正透镜构成的标准透 射球面器具得到曲率半径在一定范围内连续变化的 标准球面波，实现对不同曲率半径凸凹球面的检测， 被测件的相对孔径检测覆盖范围可达F/0.75～11， 具有一具多用、不损伤被检球面表面光洁度以及测 试精度高等特点，克服了现有球面样板接触测量的 缺点；如果与测量长度的光栅尺、测长干涉仪等配 套使用，还可以精确测量球面的曲率半径。可广泛 用于光学加工行业中对各种透镜凸凹球面面形质量 的检验。 200810024553.5 权 利 要 求 书 第1/1页 1、一种光学透射球面检测装置，它是由数字波面干涉仪[1]、透射球面器具[2]、 干涉图监视器[4]和计算机[5]组成，透射球面器具[2]位于数字波面干涉仪[1] 的出射光路上，数字波面干涉仪[1] 同时接收透射球面器具[2]获取的图像，经数 字波面干涉仪[1]处理后的图像输出信号分别接干涉图监视器[4]和计算机[5]， 本发明的特征在于透射球面器具[2]是由2～4片光学正透镜组合构成，组合后的球 面标准器具[2]的焦点与透射球面标准器具[2]中末尾正透镜[7]球面的球心重合； 经球面标准器具[2]后的球面波，正入射被检凸凹球面[3]。 2、根据权利要求1所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述透射球面器具 [2]的光学正透镜由球面组成。 3、根据权利要求1所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述透射球面器具 [2]的光学正透镜由非球面与球面组成。 4、根据权利要求1所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述透射球面器具 [2]的光学正透镜由衍射光学面与球面组成。 5、根据权利要求1所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述透射球面器具 [2]的光学正透镜由非球面、衍射光学面和球面组成。 6、根据权利要求1～5所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述透射球面 器具[2]的首个光学正透镜[6]为双凸透镜或平凸透镜。 7、根据权利要求1～5所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述透射球面 器具[2]的末尾正透镜[7]采用膨胀系数小的光学材料制作，球面镀制增透膜或未 镀制增透膜。 8、根据权利要求6所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述