对于非球面度较大的非球面光学零件的加工方法.pdf

维普资讯 · 24 · 云《光技术》2O04Vo1．36 №3 对于非球面度较大的非球面 光学零件的加工方法 王光伟 (云南北方光电仪器有限-2-~第三分厂 昆明650114) 摘要 在特种光学加工中，对于非球面度较大的非球面零件加工，无论是铣磨还是抛光， 都存在一定难度，特别是在最大非球面度处有较小拐角的非球面零件，铣磨时磨轮由于加 工轨迹在拐角处的突变，易撞掉或撞碎零件，而抛光时在具有较小拐角处更难以抛亮，同 时也增大了修抛难度。本文针对此问题，以加工非球面Si单晶为例，在保证有效口径情况 下，通过在该透镜的最大非球面度处(或附近某点处)作切线至透镜 口径处的加工方法， 使光洁度得到有效改善，同时进行面形修正补偿，使非球面面形最大偏差(Rt)达到1a／n以 下。 关键词 特种光学加工 非球面 最大非球面度 面形补偿 拐角 _●●‘． -__一 一 廓仪。 、 刖 舌 随着光学事业的不断发展以及光学仪 二、本方法例举的非球面方程如 器的高要求化，对非球面光学零件的需求 下： 日益增多，但由于加工、检验较为复杂，给 非球面光学零件的生产带来一定的困难。 x)= 丽 + 特别是对非二次曲面且非球面度较大的零 Aax +A6x6+Asx8+ …At2x 件，加工起来就更加不容易，抛光时最大非 方程中：c一曲面顶点处曲率半径的倒数 球面度处难以抛亮，若曲面还存在着一定 一 曲面偏心率 的拐角(小于l0o)，则大大增加了铣磨、抛 A4、A6、A8…Al2——曲庙_1旧欠方系数 光的难度。本文以单晶硅为例，介绍一种非 具体各参数如下： 球面光学零件的有效加工方法，即在不影 c= l／4o．134 k=一7．54 响零件有效口径情况下，在最大非球面度 A4=8．61046E一6 处(或附近某点)作切线至透镜口径，从而 A6=一1．91345E一7 A8=7．94195E一10 保证达到光洁度、面形偏差(PV或Rt)，面 形综合偏差(Ra)的要求。加工设备：德国 Aio=一1．28868E一12 LOHLTD公司生产的精密数控铣磨及抛光 A12=9．41393E一16 机；测量设备：英国TaylorHobson公司的轮 以上非球面方程系数经德国OPTO 维普资讯 《云光技术》2004Vo1．36 №3 ·25 · TECH公司的MPP软件计算并模拟得到的 由于加工轨迹的突变，很容易将零件撞破 非球面形状见下图(图1)，图中，透镜El径 或撞掉，为此，在零件直径37．5mm(即最小 (D)为42mm，边缘弧高 (Edgesag)为 拐角附近处)作切线至零件口径42．0ram 3．3877376mm，最佳球面半径(Bestfitrad) 处，切线方程如下： 为66．782mm，最大非球面度(Maxdev)为 Y—Yo=厂()(— 0) 1．1258mm。非球面形态相对于最佳球面半 式中：X0、Y0