硅基MEMS三维微电极阵列的超电容特性.PDFVIP

第 11 卷 第 1 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vol. 11 No. 1 20 13 年 1 月 Nanotechnology and Precision Engineering Jan. 20 13 硅基MEMS三维微 电极阵列的超 电容特性 王 晓峰 ， 陈学坤 ， 尹亚江 ， 尤 政 （清华 大学精 密仪 器 与机 械学 系 ，北 京 100084 ） 摘 要 ：三 维微 电极 是 一种 具 有 空 间结构优 势 、 电化 学性 能 比二 维微 电极 更加 优 越 的微 型储 能 结 构 . 本 文提 出一 种 基 于光 刻 、 感应耦 合 等 离子体 刻蚀 和溅射 等MEMS工 艺加 工三 维结构硅 基 微 电极 阵列 的新 方 法. 采 用 电化 学 阴极 沉 积 工 艺在微 电极表 面制备 了纳米氧化 钌 功 能 薄膜 . 借 助 扫描 电子 显微 镜 、循 环伏 安 测试 和 电化 学交流 阻抗谱 测试 等 手段 对 三 维微 电极 的表 面形 貌 和 电化 学性 能进 行 了表 征 ，系统研 究 了 阴极 沉积 电流 密度 、 电沉积 时 间 以及硅 基 微 结 构表 面“微 草 效应 ”对 三 维微 电极 超 电容特 性 的影 响. 所制备 三 维微 电极 的 比 电容 达到 1.57 F/cm2 ，与平 面 电极 比 电容 0.42 F/cm2相 比明显提 高 ，而 电化 学 阻抗 比二 维平 面微 电极 显 著 降低 . 相 关 实验 数 据表 明基 于MEMS技 术加 工 的三 维 结构微 电极 具 有优 于平 面 电极 的 电化 学 电容储 能特 性. 关键 词 ： ；三维微 电极 阵列 ；氧化 钌 ；阴极 电沉 积 ；超 级 电容 器 ；微 能源 MEMS 中图分 类 号 ： 文献标 志码 ： 文章编 号 ： （ ） TH7 A 1672鄄6030 20 13 0 1鄄0068鄄06 Supercapacitor Performance of MEMS Three鄄Dimensional Silica鄄Based Microelectrode Arrays Wang Xiaofeng ， Chen Xuekun ， Yin Yajiang ， You Zheng （Department of Precision Instruments and Mechanology ， Tsinghua University ， Beijing 100084 ， China ） Abstract ： Three鄄dimensional （3D ） microelectrode is a promising energy鄄storage microstructure with higher aspect ratio and better electrochemical performance of the structure than the conventional two鄄 dimensional （2D ） microelectrode. A novel method of fabricating 3D microelectrode arrays on silicon substrate i