直线光栅尺在真空技术中的应用 - 海德汉.PDFVIP

技术信息 直线光栅尺在真空技术中的应用 “真空”是指全空的空间，无空气也无任何其它气体。 根据真空的纯度，通常将真空分为低真空、中等真空、高度真空或超高真空。 真空技术在许多现代化生产和科研中发挥着重要作用。真空技术是电子工业和生物技术，薄膜沉积技术，新材料开发，医药以及化学分 析不可或缺的技术。 真空应用对零部件提出严格的要求，当然也影响到定位应用的编码器。海德汉针对高真空和超高真空应用特别设计的直线光栅尺能满足 这些要求，措施包括： • 适应真空应用的PCB，黏胶和漆料，以减少气体析出 • 通气的空腔，缩短抽真空时间 • 耐高温，支持较高的加热温度 • 无磁铁材料，提高过程可靠性 • 超净车间生产，确保最高清洁程度 真空等级 真空 压力， 高度， 平均自由行程， 时间， 当空气被排出封闭的空间，空气将变得稀 单位mbar 单位km 单位m 单位s 薄，结果是压力降低：产生真空。封闭的 空间中的空气量越少，即压力越小，真空 海拔高度 两个气体分子无碰撞 颗粒覆盖表面的时间 度越高。真空度分为四级。空气压力低于 1 mbar是低真空；空气压力低于1 bar是中 +3 –5 –5 低 10 至1  50  10  10 等真空。真空度低于0.001 mbar为高真空， 达到或低于0.000 000 1 mbar为超高真空。 –3 –5 – 1 –5 -2 中等 1至10 50至100 10 至10 10 至10 真空应用 -3 -7 -1 +3 -2 +2 如果一个封闭的空间中不允许任何异物， 高 10 至10 100至500 10 至10 10 至10 没有空气，因此也没有任何悬浮颗粒，就 -7 +3 必须是真空环境。有些情况需要在真空中 超高  10  500  10  100 进行尺寸测量，例如需要检查亚微米级的 超精细结构或需要切分和检查颗粒时。直 线光栅尺和角度编码器在真空中的常见应 用包括电子显微镜、机械手、多路执行器、 XY工作台、电子束显微镜，半导体工业的 圆晶检查或测量同步加速器辐射的光谱仪 轴。 2015年5月 真空应用对编码器的要求 通常在低真空和中等真空应用中，可用海 德汉的标准编码器，工作温度有一定限 制。高真空或超高真空应用的光栅尺需要 满足一些特殊要求。 少量气体逸出 真空应用中，必须尽可能减少气体的逸 出，否则真空室的压力将显著升高。超高 真空应用中，所有部件都十分关键。例如， 部分塑料件的挥发性溶剂会逸出。印刷电 路板、黏胶或漆料中都含这类塑料，在超 真空应用中，必须严格避免这些材料。海 德汉采用的PCB和黏胶能满足真空应用要 求。常用的漆料也用满足真空应用要求的 材料取代。在超真空应用中，必须尽可能 压缩零部件数量—接口和脉冲整形电子电 路必须在真空室外。为此，海德汉提供配 外部接口硬件的编码器。对于高真空应用， 方法之一是将接口硬件安排在真空室内。 空腔的正确通风 要产生真空，必须排出封闭空间内的空气。 获得所需低压的时间被称为“抽真空时 间”，该时间应尽可能短，以使真空系统 尽快开始工作。如果空腔中的空气能很快 逸出，就能缩短抽真空的时间。为此，海 德汉编码器外壳增加了空气孔数量，打开 盲孔的螺纹孔，通气孔直接打通到空腔 中。 无铁磁材料 根据真空腔中进行的操作，编码器中的部 分材料可能不允许使用。铁磁材料不允许 用在检查微电子电路的电子束显微镜中。 为此，海德汉真空应用的编码器无磁性材 料。 耐高温 为缩短抽真空时间和获得较高真空度，真 空腔需要加热到100 °C甚至更高的温度。  结果是附着在