工艺参数对磁控溅射wo3 薄膜电致变色性能的影响 - 现代技术陶瓷.pdf

第38 卷 第2 期 现 代 技 术 陶 瓷 Vol. 38 No. 2 2017 年4 月 Advanced Ceramics April 2017 中图分类号： O484 文献编号： 1005-1198 (2017) 02-0142-08 文献标识码： A DOI ： 10.16253/ki.37-1226/tq.2016.11.002 工艺参数对磁控溅射WO3 薄膜 电致变色性能的影响 汤全丰，李海增，王宏志，张青红，李耀刚，陈 培 东华大学 材料科学与工程学院 先进玻璃制造技术教育部工程研究中心，上海201620 摘 要：本文采用磁控溅射法制备了用于电致变色器件的 WO3 薄膜，用 X 射线衍射仪 (XRD) 、场发射扫描电镜 (FESEM)、紫外可见分光光度计 (UVVis) 对其物相组成、微观 形貌以及电致变色性能进行了表征。结果表明：在溅射压强为2 Pa 、氩氧比为60 ：20 时所 制备的 WO3 薄膜厚度适中，且有利于离子的嵌入/脱出，而以此薄膜制备的电致变色器件 2 光调制范围最大，褪色时间最短，着色效率达82.9 cm /C 。 关键词：磁控溅射；WO3 薄膜；电致变色器件；氩氧比 电致变色器件是一种在施加较小电压条件下就能实现其光学性质可逆变化的器件，在显示器、 可视化超级电容器以及智能窗等领域具有广泛的应用前景[14] 。电致变色器件主要包括导电层、电致 变色层、离子导体层以及对电极层[5,6]，其中电致变色材料是最为重要的组成部分。电致变色材料主 [7] [8] 要分为有机电致变色材料以及无机电致变色材料。有机电致变色材料主要有聚吡咯 、紫罗精 、聚 苯胺[9]等，但大部分有机薄膜会出现紫外降解现象，因此很少应用于长时间光照下的智能窗等相关 部件[10] [11] 。无机电致变色材料多为过渡金属氧化物及其衍生物 ，其中宽带隙的金属氧化物  三 氧化钨 (WO3) 由于可以改变可见光以及红外光透射率从而起到调节室内温度并实现室内照明情况 [12] [13] 的动态调节，自首次被Deb 报道以来 已经得到广泛研究并用于电致变色智能窗中 。WO3 可以通 过交替施加较小的正负电压从而可逆地在无色与蓝色之间进行切换[3] ，具有较高的光调制范围、稳 定的电化学性能以及良好的可逆性[14] 。 [15] [16] [17] 目前，WO3 薄膜的制备方法主要有化学气相沉积法 、磁控溅射法 、电子束沉积法 、热蒸  收稿日期： 20161102 收到修改稿日期：20161208 基金项目： 广东省科技计划 (2016B090932003) 。 第一作者： 汤全丰 (1993 ), 男, 湖南长沙人, 硕士研究生。E-mail: tqf930412@163.com 。 通讯作者： 王宏志 (1970 ), 男, 黑龙江哈尔滨人, 教授。E-mail: wanghz@ 。 第2 期 《现代技术陶瓷》 Advanced Ceramics, 2017, 38 (2): 142149  143  [18] [19] [