谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测.pdfVIP

第 2O卷 第 3期 光学 精密工程 Vo1．20 No．3 2012年 3月 OpticsandPrecisionEngineering M ar．2O12 文章编号 1004-924X(2012)03—0514—06 谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测 马 磊 。，卢启鹏H，彭忠琦 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春 130033； 2．中国科学院研究生院，北京100039) 摘要 ：为提高上海光源搭建的国内首条软 x射线谱学显微光束线站的整体性能，分析 了其分光装置一变包含角平面光 栅单色仪在波长扫描过程 中影响谱学显微光束线光斑水平漂移 的各个 因素，推导出了各因素与光斑水平漂移的传递关 系，并结合具体要求进行了误差分配。针对光斑水平角漂移重复精度 的检测 ，采用 白准直原理，构建 了测试系统 。利用 该系统 ，完成 了谱学显微光束线站光斑水平漂移重复精度 的离线检测 ，其结果为 0．67”，满足设计指标 1的要求 。对安装 调试后的束线进行了总体性能测试，结果均满足谱学显微设计和使用要求。由此表明，提出的对谱学显微光束线光斑水 平漂移误差来源的分析及检测方法 ，有效保证了束线性能的实现。 关 键 词 ：变包含角平面光栅单色仪 ；谱学显微光束线 ；光斑水平漂移 ；误差分析 中图分类号 ：TH744．1。TB92 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE0514 Analysisandtestoflightspottransversal transferofspectrom icroscopicbeamline MA Lei ，LU Qi—peng¨，PENG Zhong—qi (1．StateKeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanics andPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China； 2．GraduateUniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China) *C0rr 0 gauthor，E-mail：luqipeng@126．corn Abstract：W iththeaim toimprovetheunifiedperformanceofthefirstsoftX—rayspectromicroscopic beamlinebuiltinShanghaiSynchrotronRadiationFacility(SSRF)，Thispaperanalyzesthemainfac— torsthateffectthelightspottransversaltransferofthe spectromicroscopicbeamline duringwave— lengthscanningbyavariable—included—angleplanegratingmonochromator．Itdeducestherelationbe- tweenvariousfactorsandlightspottransversaltransfer，andsolvestheerrordistributionofthesys- tem toensuretheperformanceofthebeamline．A testsystem fortherepeatabilityoflightspottrans— versaltransferisbuiltbyautocollimationprincipleandtheoff—linetestingofthelightspottransversal transferisfinishedbyusingthistestsystem．Theresultshowsthattherepeat