超小间距纳米柱阵列中的谐振调制 - 物理学报.PDF

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 23 (2013) 237806 超小间距纳米柱阵列中的谐振调制* 吕江涛 赵玉倩 宋爱娟 杨琳娟 张杨宇 刘艳 谷琼婵 姜潇潇 马振鹤 王凤文 司光远† ( 东北大学秦皇岛分校控制工程学院, 秦皇岛 066004 ) ( 2013 年7 月7 日收到; 2013 年10 月3 日收到修改稿) 本文首先研究了具有通常柱间距(大于100 nm) 的纳米柱阵列在近红外波段的光学特性并实现了通过改变阵列 参数(如周期) 来调制局域表面等离子体谐振. 随后, 通过使用电子束直写和离子束刻蚀的方法制备出具有超小柱间 距(小于50 nm) 和超高密度(ultrahigh density) 的纳米柱阵列并通过对表面等离子体谐振的调制实现了在可见光波 段滤出不同颜色的单色光. 本文中所展示的纳米柱功能阵列可以与现有的数字光处理(digital light processing, DLP) 技术相兼容进而构造具有超小像素的显示屏, 可以在显示、成像等领域取得广泛的应用. 关键词: 纳米柱, 超小间距, 超高密度, 显示 PACS: 78.67.−n, 78.40.−q, 73.20.mf DOI: 10.7498/aps.62.237806 应用领域将更加广泛. 如30—40 nm 的笼状纳米金 1 引言 颗粒的表面等离子体由于其特有的共振波长, 使其 特别适合应用在光学相干层析术中, 从而可以为癌 近年来, 表面等离子体(surface plasmons) 因其 细胞的早期诊断和治疗提供依据30−34 . 在纳米光子学 1−6、生物学7−12、光谱学13−17 在这些可以调制的纳米器件中, 纳米柱阵列是 等领域的广泛应用而受到物理学、光学、材料科 一种重要的结构, 其应用领域日趋广泛. 原因在于 学、纳米科技等研究领域的广泛关注. 表面等离子 纳米柱结构阵列中激发所产生的局域表面等离子 体技术为能在纳米尺度上操纵和控制光子, 实现全 体共振, 大大增强了局域电磁场强度, 并且在不同 光集成, 发展更小、更快和更高效的纳米光子学器 的结构中产生了强烈的近场耦合, 这使得纳米结构 件提供了一条有效的途径. 纳米光子学器件具有体 具有了较高的传感灵敏度和极大的品质因数以及 积小、集成度高、速度快、能耗低等优点 18−20 , 优值系数. 这种较高的传感灵敏度表现为高折射率, 纳米器件的这些特点, 使其应用领域已经向其他 其来自于纳米柱表面等离子体和入射光之间的相 学科领域交叉渗透, 如亚波长光学21−23、纳米俘 互作用, 这种作用十分稳定, 因此具有很强的可靠 24 2526 27−29 性. 但是, 对于间距小于 100 nm 的超小间距纳米柱 获 、纳米波导 、超级透镜 等等. 近 年来的理论和实验研究表明, 可以通过控制金属纳 阵列由于光散射弱、金属-配体作用影响、整体测 米颗粒的尺寸、几何形状、拓扑结构以及材料组 量不能均一等问题, 其研究和制备非常困难, 使我 分等来方便地调节表面等离子体共振性质, 共振波 们很多时候不能检测与控制其等离子体属性. 在以 长可从紫外连续调谐到红外波段, 这就可以满足我 往的小尺寸纳米器件相关研究当中, 制备的方法主 们对于纳米器件的各种不同的实际需要. 尤其是对 要是化学合成方法, 这