硅在KOH溶液和EPW中各向异性腐蚀的异同.pdfVIP

维普资讯 硅在 KOH溶液和 EPW 中 各向异性腐蚀的异同 _———————一 、—————— -T 3o．1 0132 — 一 ’ 一 I v l— L (黑龙江大学物 理 系．哈尔滨 ，150080) 本文在文献(1～5)的基础上，进一步应用碰撞理 研究了硅在KOH溶液和EPW 中 各向异性腐蚀的机理 ，并给出了硅在这两种腐蚀液中各向异性腐蚀速率的实验结果． 1 腐蚀机理 硅单晶是典型的面心立方结构．(1l1)晶面的硅原子密度最大 ，且 (1l1)晶面上的一个 硅原子与次表面的三个硅原子形成三个共价键；(100)晶面的硅原子密度 次之，且 (100)晶 面上的一个硅原子与次表面的两个硅原子形成两个共价键；(110)晶面的原子密度最小， 而且(110)晶面上的一个硅原子与次表面的一个硅原子形成一个共价键． 将制得的各种晶向硅样品放入KOH溶液和 EPW 中，其化学反应方程式如下： (1)KOH溶液是由KOH水按一定比例配利成的水溶液，与硅样品的化学反应如下 KOH + H：O一 K + 2(OH)一+ H (1) 2(OH)一+ Si+4H2O一 一 [Sl(OH)] + 2H 十 (2) (2)EPW 腐蚀液是 由乙二胺 、邻苯二酚和水按一定 比例配制成的水溶液．这种腐蚀 液对硅单晶具有各向异性腐蚀 ，是 由每种化学试剂的性质共同}完 的． 乙二胺的性质：乙二胺别名为二氪基 乙烯，分子式为H：NCH。·CHNH：·HO，分子 相对质量是 78．14，是一种无色透明的易燃液体，具有强硷性并有氨气味 ，溶于水和醇 ，微 溶于醚，不溶于苯．沸点是 1l7℃，在腐蚀硅单晶的过程中起氧化剂与络合剂的作用． 邻苯二酚的性质：邻苯二酚别名是焦性儿茶酚 ，也叫 1，2一二羟基苯 ，分子相对质量 为 l1O．12，是无色或浅灰色结晶或结晶性粉末。易溶于水、乙醚、苯，并能与水蒸气一同挥 发，沸点 1l7C，在腐蚀单晶过程 中，它具有还原性． 将上述二种化学试剂按一定比倒溶于一定量的去离子水中，配制成 EPW 各向异性 腐蚀液，在对硅单晶腐蚀的过程中，乙二胺与水结合形成 [OH]一，而 [OH]一离子与硅反 应 ，反应方程如下 H2NCH2CH2NH2+H2O．~-[NH2CH2CH2NHa] + [OH]一 (3) [NH2CH?CH2NH3]+H2O-~,[NHaCH3CH2NHa] + [OH]一 (4) - 来稿 日期 ：1994年 5月 16日 维普资讯 传 感 技 术 学 报 2EOH]+ Si+4HO~[Si(OH)]一+ 2H } (5) 由方程式 (2)和 (5)可见，虽然 KOH溶液与 EPW配制的化学试剂不同，但 si与这两 种水络液中活化离子OH一的反应过程是相 同的． 硅在 KOH溶液中和 EPW 中的化学反应与活化离子 OH一有关，也就是说化学反应 是通过粒子之间的相互有效碰撞实现的．只有平均动能足够高的粒子才能发生有效碰撞， 称这样的粒子为活化粒子．在KOH和 EPW 腐蚀液中能与上述三个晶面的硅原子发生有 效碰撞的活化粒子是OH一离子，若用E(110)，E(100)，E(1l1)分别表示OII一离子与上述 三个晶面有效碰撞的平均动能，依晶面上的一个原子与次表面硅原子形成共价键多少确 定有效碰撞平均动能的大小．则有 E(1lO)E(IOO)E(1l1)、在这里．忽略了共价键的 键角对化学活泼性的影响． 微观系统中粒子的平均动能是不全同的，KOH和EPW