激光加载下准等熵压缩实验用铝氟化锂复合双台阶靶的研制..pdfVIP

第5O卷第5期 原 子 能 科 学 技 术 Vo1．50，NO．5 2016年5月 AtomicEnergyScienceandTechnology May2016 激光加载下准等熵压缩实验用 铝 ／氟化锂复合双台阶靶的研制 叶君建 ，谢志勇 ，张志友 ，陆驰中。，吴永月0， 董佳钦 ，舒 桦 ，黄秀光 ，傅思祖 (1．上海激光等离子体研究所 ，上海 201800；2．四川大学 物理系，四川 成都 610044； 3．上海现代超先进精密制造 中心有限公司 ，上海 200433；4．同济大学 物理科学与工程学院，上海 200092) 摘要 ：本文提 出了一种激光加载下准等熵压缩实验用铝 ／氟化锂复合双 台阶靶 的加工技术 。采用金刚石 车削在 1．5mlTl厚的氟化锂晶体表面加工两个 10gm高度 的台阶，然后利用 电子柬蒸发在氟化锂 台阶 面镀厚度为几十 m 的高致密纯铝膜 ，再通过金 刚石车削工艺将镀铝面车削成平面，最后在氟化锂 晶体 另一面蒸镀剩余反射率低于 1 的增透膜 ，最终获得高质量的铝 ／氟化锂复合双台阶靶 。采用 NT1100 白光干涉仪、电子 比重计、电子能谱 、x射线衍射仪、扫描 电镜等设备对靶参数进行测量 ，研究各工艺对 靶参数 的影响。 关键词 ：激光 ；铝 ；氟化锂 ；金刚石车削；电子束蒸发；增透膜 中图分类号：TL62 文献标志码 ：A 文章编号：1000—6931(2016)05—0927—06 doi：10．7538／yzk．2016．50．05．0927 FabricationofAI／LiFCompositeDual-stepTarget UsedinQuasi_isentropicCompressionExperimentbyLaserLoading YEJun—jian ，XIEZhi—yong ，ZHANG Zhi—you ，LU Chi—zhong。，wU Yong—gang， DONG Jia—qin ，SHU Hua，HUANG Xiu—guang一 ，FU Si—ZU (1．ShanghaiInstituteofLaserPlasma，Shanghai201800，China； 2．DepartmentofPhysics，SichuanUniversity，Chengdu610044，China； 3．ShanghaiModernAdvancedUltraPrecisionManufacturingCenterCo．，Ltd．，Shanghai200433，China； 4．SchoolofPhysicsScienceandEngineering，TongjiUniversity，Shanghai200092，China) Abstract：ThefabricationtechniqueforA1／LiFcompositedual—steptargetusedinquasi— isentropiccompression experimentwas described． The tWO 10 um high stepswere processedbydiamondturningtechnologyinthesurfaceofthe1．5mm LiF crysta1．The high—-densityA1film withdozensofmicronthicknesswascoatedbyelectronbeam evapo—— ration，andturnedinto aflataluminized surfacethrough thediamondturningprocess． A high——qualityA1／LiF compositedual——step targetwaseventuallycompletedwithan 收稿 日期 ：2015-04—23；修回Et期 ：2015-06—05 作者 简介 ：叶君建 (19