高导电高透明性ZnO：Al透明导电膜的制备工艺研究.pdfVIP

2012年 ·第2期 技术与研究 中国材料科技与设备 (双月刊) 高导电高透明性 ZnO： 透明导电膜的制备工艺研究 张凡 ，郝万军 ，赵冉 ，张振华 ，孙昌萌 ，陈东卫 (1_海南大学 材料与化工学院 教育部海南优势资源化工材料重点实验室，海南 海 口 570228； 2．91822部队，海南 海 口 570125) 摘要：本文采用溶胶一凝胶法，利用浸渍下降涂膜装置及氮气退火工艺成功制备 出高透光率、高导电的掺铝氧化锌 (ZnO：A1，AZO)透明导电膜，并对薄膜性能进行 了表征。结果表明：氮气退火处理对AZO薄膜结构及光电性能有较大 影响，退火处理后的薄膜C轴择优取向明显，晶粒尺寸变大，结晶程度变好，电阻率较 空气中退火下降4～5个数量级， 最低方块 电阻为 24Q／口，平均透光率达 8O 以上。 关键词：AZO；透明导电膜；溶胶一凝胶法；浸渍下降；氮气退火 中图分类号 ：TB43；0484．4 文献标识码：A 温下密封静置 12d以上，形成均匀透明的溶胶，待用。 0 前言 1．3薄膜的制备 伴随电子技术与新能源产业的飞速发展，透明导电膜作 本实验采用浸渍下降法涂膜，装置示意图如图 1所示。 为重要的光电信息材料，被广泛应用于太阳能电池、液晶显 浸渍下降法也是一种浸涂法__1，其基本原理是基于浸渍提 示、防静电等光电器件领域中，近年来已经成为世界性的研 拉法[】，对其逆向思维，采取固定涂膜基片，控制溶胶液 究热点_1。]。其中，掺铝氧化锌 (ZnO：A1，AZO)透明导 面下降，这样溶胶就涂覆在了基片表面。相对于浸渍提拉 电膜在可见光区内具有高的透射率和低的电阻率，并且材料 法，设备更加简易，操作更加简单，最突出的优点是克服了 来源丰富、价格便宜、无毒副作用、热稳定性好，受到高度 提拉过程中的机械振动对薄膜均匀性的不 良影响，使成膜均 关注，被认为是最具发展潜力的材料之一一。目前，制备 匀性更好 。 AZO薄膜的方法主要有磁控溅射法[5]、化学气相沉积法_l6]、 脉冲激光沉积法：、喷雾热分解法[。]和溶胶一凝胶法 。等。 溶胶一凝胶法具有成本较低，工艺简单可控，且能克服其他 方法难以大面积成膜的缺点，成为研究的重点之一l】。 本文采用溶胶一凝胶法，利用浸渍下降涂膜装置成功 制备出高透光率、高导电的AZO透明导电膜，并对薄膜性 能进行了表征。结果表明：氮气退火处理对 AZ0薄膜结构 及光电性能有较大影响，薄膜结晶程度变好，电阻率较空 图1 浸渍下降涂膜装置示意图 气中退火下降 4～5个数量级 ，最低方块 电阻为 24fl／口， Fig．1 Theschematicofdippingdowncoatingdevice 平均透光率达 8O 以上。 首先将洁净的载玻片固定，垂直浸入制备好的溶液中， 1 实验 停留lmin以达到吸附平衡。然后打开流量控制阀，保持液 面 以lmm／s的速度下降，待载玻片离开液面，取下放置在 1．1试验药品 空气中3min左右，待溶胶薄膜转变为凝胶薄膜 ，放人马弗 市售二水合乙酸锌 [zn(CH。COO)z·2HO，An3， 炉中500℃下热处理 10min，重复上述过程 15次，再放入 九水硝酸铝 [A1(N()3)3·9HzO，AnJ，二 乙醇胺 ENH 马弗炉中在 550℃下热处理 1．5h。最后分别在 400~550℃ (CH2CH2OH)2，AR]，无水乙醇 (CH3CH2OH，AR)。 的氮气中退火处理0．5h，控制气体流量0．1I／min。 1．2溶胶的制备