气体工业名词术语-仪器信息网.PDF

低温与特气　　1999　　 1 63 气 体 工 业 名 词 术 语 　　特种气体　 (Specialty gases) 系指那些 BTU 测量, 液化石油气校正标准, 超临界流 在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的 体工艺等。标准气视气体组分数区分为二元、 纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元 三元和多元标准气体; 配气准度要求以配气 或多元混合气。特种气体门类繁多, 通常可 允差和分析允差来表征; 比较通用的有SE 区分为电子气体、标准气、环保气、医用气、 M I 配气允差标准, 但各公司均有企业标准。 - 6 焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石 组分的最低浓度为 10 级, 组分数可多达 20 油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力 余种。配制方法可采用重量法, 然后用色谱 工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食 分析校核, 也可按标准传递程序进行传递。 品保鲜等领域。 外延气体　 (Cp itax ial gases) 　在仔细 电子气体　(E lectron ic gases) 　半导体 选择的衬底上采用化学气相淀积 (CVD ) 的 工业用的气体统称电子气体。按其门类可分 方法生长一层或多层材料所用气体称为外延 为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大 气体。硅外延气体有 4 种, 即硅烷、二氯二 类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀 氢硅、三氯氢硅和四氯化硅, 主要用于外延 刻工艺; 高纯气体主要用作稀释气和运载气。 硅淀积, 多晶硅淀积, 淀积氧化硅膜, 淀积 电子气体是特种气体的一个重要分支。电子 氮化硅膜, 太阳电池和其他光感受器的非晶 气体按纯度等级和使用场合, 可分为电子级、 硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并 ( ) ( 生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻 大规模集成电路 级、 超大规模 L S I VL S I ) ( ) 集成电路 级和UL S I 特大规模集成电路 率往往与衬底不同。 级。 蚀刻气体　 (E tch ing gases) 　蚀刻就是 标准气体　 (Standard gases) 　标准气 把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅 体属于标准物质。标准物质是高度均匀的、良 膜、金属膜等蚀刻掉, 而使有光刻胶掩蔽的 好稳定和量值准确的测定标准, 它们具有复 区域保存下来, 这样便在基片表面得到所需 现、保存和传递量值的基本作用, 在物理、化 要的成像图形。蚀刻的基本要求是, 图形边 学、生物与工程测量领域中用于校准测量仪 缘整齐, 线条清晰, 图形变换差小, 且对光 器和测量过程, 评价测量方法的准确度和检