245 GHz ECR离子源的微波阻抗匹配 - 原子核物理评论.PDF

第30 卷第 1 期 原子 核 物 理评论 Vol. 30, No. 1 2013 年3 月 Nuclear Physics Review Mar . , 2013 文章编号: 1007-4627(2013) 01-0032-06 2.45 GHz ECR 离子源的微波阻抗匹配 1 1 2 2 2 1 2 3 2 3 钱程 ，陈志 ，马鸿义 ，武启 ，张文慧 ，王云 ，杨尧 ，方兴 ， 2 2 2 2 2 孙良亭 ，张雪珍 ，张子民 ，刘占稳 ，赵红卫 ( 1. 中国科学技术大学核科学技术学院，安徽合肥 230026； 2. 中国科学院近代物理研究所，甘肃兰州 730000； 3. 中国科学院大学，北京 100049 ) 摘要: ECR 离子源的等离子体阻抗对其微波传输与阻抗匹配设计至关重要。在中国科学院近代物理研 究所现有的2.45 GHz ECR 质子源上，对等离子体阻抗进行了测量。首先用水吸收负载代替等离子体负 载测量得到了所用微波窗阻抗，然后根据质子源测量数据，推算得到了等离子体阻抗。实验结果表明， 脊波导输出端阻抗与后续负载不完全匹配，等离子体阻抗随微波功率变化呈非线性。这些结果为ECR 离子源过渡匹配和微波窗的设计提供了参考依据。 关键词: ECR 离子源；等离子体阻抗；脊波导；阻抗匹配 中图分类号: O536 文献标志码: A DOI: 10.11804/NuclPhysRev.30.01.032 1 引言 节反射理论推算出ECR 源等离子体负载阻抗。 电子回旋共振( ECR ) 离子源根据其工作方式与用 2 ECR离子源微波系统 途不同，可分为多电荷态离子源和单电荷态离子源。 2.45 GHz ECR 离子源微波系统由微波发生装置和 该类型的离子源具有电离密度高、无阴极、束流重复 [1] 微波传输装置两部分组成。磁控管是微波发生装置的 性好和束流品质好等优点 。随着高功率的质子加速 核心部分，可以根据需要来配置相应的微波电源。本 器的不断发展，国内外的相关实验室都先后研制出 [25] 实验研究的离子源是占空比为1/ 3 的脉冲束。实验用 了性能优良的强流ECR 质子源 ，它通常采用2.45 到的ECR 源微波产生和传输装置的主要部件包括：微 GHz 微波产生等离子体。要产生致密等离子体，微波 波电源、磁控管、环形器、定向耦合器、三销钉调谐 功率必须有效馈入并被等离子体吸收。等离子体相当 [6] 器、过渡脊波导和微波窗等。通过各种传输器件的组 于微波传输终端的负载 ，因此微波功率源与ECR 离 合来实现微波的优化传输，降低反射功率。从微波源 子源之间的微波传输与馈入设计至关重要。目前大多 到调谐器，均是标准工业产品；过渡波导和微波窗， 数强流质子源的微波过渡匹配段大都采用脊波导，也