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微悬臂梁阵列在电子鼻及生物传感中的应用
28 5 Vol. 28 No. 5
第 卷 第 期 黑龙江大学自然科学学报
2011 10 JOURNAL OF NATURAL SCIENCE OF HEILONGJIANG UNIVERSITY October ，2011
年 月
微悬臂梁阵列在电子鼻及生物传感中的应用
1 1，2
，
张柏林 潘宏青
(1． ， 130022 ;2 ． ，
中国科学院长春应用化学研究所电分析化学国家重点实验室 长春 中国科学院研究生院 北京
100049)
: 。
摘 要 微悬臂梁传感器具有超高灵敏度的质量检测能力和独特的应力测量模式 因其体积
、 ， 。
小 易集成以及可用于无标记检测 成为多组分高通量分析及新型生物传感器研究领域的热点 主
、 ，
要介绍了其工作原理 阵列信号的读取方式和表面功能化方法 重点评述了微悬臂梁阵列传感器在
， ，
气体成分识别和生物分子相互作用研究中近期的发展情况 探讨了目前研究中所面临的问题 并对
今后的研究方向进行了展望。
: ; ; ;
关键词 微悬臂梁 阵列 电子鼻 生物传感器
中图分类号:O657 文献标志码:A 文章编号:100 1 － 70 11 (20 11)05 － 0676 － 14
0 引 言
、
现代微电子技术为开发高效 小尺寸的微电子机
(MEMS) 。
械传感器系统 提供了可靠的保证 作为这种
MEMS ——— ，
的典型代表 微悬臂梁传感器 经过十余年
， 。
的发展 其研究领域已经涵盖多个学科和方向 图
［1 － 2］
1 展示了微悬臂梁及微悬臂梁阵列的电镜照片。
微悬臂梁传感器技术源自原子力显微镜，1994 年被首
［3 － 4］
次证明对化学和物理变化极为敏感 ，
此后作为物
［5 － 6］ ［7］ ［8］
、 、 、
理传感器用于检测热能 射线 磁场 粘
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、 、 ;
度 密度 流速 和红外线 等 作为化学传感
［13］ ［14 － 19］ ［20 － 21］
、 、
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