利用离子交换技术制备跑道形波导谐振腔滤波器的研究-易迪拓培训.PDF

第32 卷第6 期 光 学 技 术 VOI. 32 NO. 6 2 0 0 6 年1 1 月 OPTICAL TECHNIOUE NOv. 2006 文章编号：1002-1582（2006 ）06-0845-03 利用离子交换技术制备跑道形 波导谐振腔滤波器的研究* 1，2 1，2 1 1 1 韩秀友 ，庞拂飞 ，蔡海文 ，瞿荣辉 ，方祖捷 （1. 中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 201800 ；2 . 中国科学院研究生院，北京 100039 ） 摘 要：采用AgNO3 和KNO3 混和熔盐作为离子交换源，在K9 玻璃上制备了跑道形波导谐振腔滤波器。利用ASE 宽带光源和光谱仪对器件特性进行了测试，得到的该滤波器自由光谱范围为0 . 176nm 。对比对! = 4dB 和3dB 带宽! = 0 . 13nm 来说，耦合系数和传输损耗分别为 = 0. 9 和 = 3. 2dB/ cm 。测试了环形腔的热光调相特性，在16C 的变化范 # $ 围内实现了2! 的相移。通过分析，波导材料的热光系数约为1. 49 X 10 - 5 / C 。该滤波器不仅可用于滤波、传感等领域， 而且也可与其它波导结构相结合实现新的功能。 关 键 词：集成光学；波导谐振腔；离子交换；热光效应 中图分类号： TN265 文献标识码：A Study of racetrack waveguide resonator filter fabricated by ion_exchange technigue 1，2 1，2 1 1 1 HAN Xiu-you ，PANG Fu-fei ，CAI Hai-wen ，OU Rong-hui ，FANG Zu-jie （1. Shanghai Institute Of Optics and Fine Mechanics ，the Chinese Academy Of Sciences ，Shanghai 201800 ，China ） （ 2 . Graduate SchOOI Of the Chinese Academy Of Sciences ，Beijing 100039 ，Chia ） Abstract ：A racetrack waveguide resOnatOr fiIter is fabricated On K9 gIass by iOn_exchange in mixed meIt saIt Of AgNO3 and KNO . The characteristics Of the fiIter is measured by brOadband ASE sOurce and OpticaI spectrum anaIyzer ，whOse free spectrum 3 range （FSR ）