高制程效率的水平式扩散炉管.PDFVIP

高制程效率的水平式扩散炉管 设计是为了高效率的及经济上的生产 与 一个高制程灵活性 介绍 SVCS的常压式扩散炉管设计上结合多个制程生产能力与满载生产系统(SVaFUR-FP) 的需求 , 及为了小型研究及试产(SVaFUR-RD)所需的弹性 , 系统提供一个安全又稳定 且简单维护的水平炉管架构。SVCS设计的优点是强化高的效率 , 最小的占地面积及 低的生产成本之弹性空间 常压的制程 常压的制程 • 高温的扩散制程 (驱入制程) • 从固态﹑液态及气态材料的掺杂制程 ; 例如 BBr , B2H , POCL , PH , BN等等材料 3 6 3 3 • 各式各样有关温度效应的制程 ; 例如 退火 , 烘烤 , 融合 • 高温氧化制程 - 高纯度蒸气产生器所产生的湿氧化制程 - 外接式燃烧系统 • 干氧式氧化制程 • 高压力式氧化制程 • 各类制程可搭配使用 DCE 或 HCl 特色 特色与利益 • 模组控制系统的技术状态 ; 自我设计﹑量身订 做及自我制造 • 炉体设备的零组件一直采用完美稳定及寿命长 的顶级零组件 • 各种制程系统可向上堆叠4个 石英 或 碳化硅 的 反应腔体 • 先进的水冷式热交换器: 确保炉管与炉管间没 有彼此的温度互相干扰 • 悬臂式 或 装弹式 的全自动化晶舟承载系统 • 便利的维护机构设计 SVCS Process Innovation s.r.o. SVCS CO. SVCS Shanghai Optátova 37, 637 00 Brno 330 S Pineapple Ave. S-110 3rd Floor • Building 9# • No.14 CZECH REPUBLIC Sarasota, Florida 34236, USA Lang 484. • Si’Ping Road e-mail: info@svcs.eu e-mail: info@ Shanghai, 200092 • CHINA http://www.svcs.eu e-mail: tony.wang@ Process Innovation 高制程效率的水平式扩散炉管 技术资料 技术资料 晶片尺寸规格 150 mm, 200 mm 或 客户特殊规格的尺寸 晶片承载量 量产型 FP: 100+