MEMS原理-07MEMS材料.pptVIP

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  • 2017-07-04 发布于湖北
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MEMS原理-07MEMS材料

1.8 压电晶体 机械能到电能的转换效率可通过机电转换系数K衡量,其定义如下: 下面简化的机电效应的数学关系可用于单向承载情况下压电换能器的设计: 应力产生的电场: V= f s (1.8-2) 其中,V是产生的电场(V/m);s是所加应力(Pa帕斯卡),系数f为常数 电场产生的机械应变: e = d V (1.8-3) 其中,e 是产生的应变;V是所加电场(V/m);d是晶体的压电系数。 (1.8-1) 压电晶体 系数d (10-12m/V) 机电转换系数K 石英(晶体SiO2) 2.3 0.1 钛酸钡(BaTiO3) 100~190 0.49 锆钛酸铅PZT 480 0.72 PbZrTiO6 250 PbNb2O6 80 罗舍耳盐 350 0.78 聚便氟乙烯PVDF 18 1.8 压电晶体 一些材料的压电系数 例题: 求采用PZT压电晶体驱动喷墨打印头喷出一滴液滴所需的电压。 液滴的分辨率为每英寸300点(dpi)。假定液滴的厚度为1mm, 假定液滴的形状为球形,且墨水池在喷射后总被重新充满。 打印头的形状和尺寸如图所示。 1.8 压电晶体 F = 2000 mm V D 1mm 纸张 纸上的墨点 墨水滴: 球的直径 d 喷嘴直径 d 墨水池 10mm 压电致动器 聚四氟乙烯薄膜 1.8 压电晶体 解题思路 先求

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