边缘效应对微镜静态特性的影响.pdfVIP

第18卷 第4期 广西工学 院学报 V01．18 No．4 20o7年12月 JOURNALOF GlIANGxI UNIⅥ SITYOF TlDCHNO10GY Dec．2oO7 文章编号 1004 6410(2007)04—0016 04 边缘效应对微镜静态特性的影响 袁丽芸 ，梁志达 ，一，陆 静 ，韦笑梅 (1．广西-I-学院汽车-I-程系，广西柳州 545006；2．广西大学土木建筑学院，广西南宁 530004) 摘 要：考虑边缘效应的影响，对微镜的静电力驱动扭矩进行了修正，建立了微镜的非线性力学模型，并利用增量迭 代的方法求解微镜的静力学方程。数值分析表明，考虑边缘效应后微镜的扭转角增加，在一定情况下微镜的几何尺 寸会对边缘效应产生很大的影响，主要因素是微镜的宽度与极板间距的比值。 关 键 词：微镜；边缘效应；非线性方程；静态特性；增量迭代 中图分类号：TP211 文献标识码：A 0 引言 MEMS扭转微镜具有体积小、转动惯量低等优点，在较小的驱动电压下可以实现光束空间位置的任意 扫描，在高速扫描镜、光开关等方面得到了广泛的应用。许多学者对微镜的力学性能进行了广泛的研 究[1--5]，但在现有文献中静电力的计算都是基于无限大平板理论，在建立力学模型时忽略了边缘电场的影 响。实际上，对于有限尺度的微镜，其电场在边缘上的分布并不是均匀的，边缘效应有时是不能忽略的。本 文考虑了边缘效应的影响，建立了新的力学模型，同时根据微镜的载荷特点，提出了一种增量求根的方法，并 利用该方法分析了边缘效应对于扭转微镜静态特性的影响。 1 微镜静力学模型 静电力是扭转微镜的驱动力，在相关文献中静电力都是基于无限大平板理论。实际上，当电容的边长为 有限值时，在其边缘上的电场线并不是直的，而是向外突起且存在泄漏，如图1所示。 在考虑了边缘效应的影响后，静电力的计算公式为[6] eaLV ．十 enL 十 ． enLV — 2h(~rL—+h) 式中，e为介电常数，a、L分别为平行板的宽度和长度，V为输 入的电压，^为平行板之间的距离。显然，(1)式中的第一项就 是无限大平板的静电力公式，而第二、第三项是在有限尺度下分 别对边长为L和口的两个边缘电场的修正，即静电力的修正项 (附加项)。 图1平板电容的边缘效应 微镜结构如图2所示，图(a)为三维示意图，图(b)为横截面 图。图中n、L分别为微镜的宽度和长度，L为扭转微梁的长度，^为微镜电极之间的距离，V为输入的电 压，n1、n2为电极的宽度，0为微镜的扭转角。 收稿日期：2007—08—11 基金项目：广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目、广西自然科学基金(桂科自0481028)资助项目。 作者简介：袁丽芸(1980一)，女，湖北大冶人，广西工学院汽车工程系助教，在读博士。 第4期 袁丽芸等：边缘效应对微镜静态特性的影响 17 m lc refl elec an SUbst (a) 图2 微镜示意图 微镜的宽度和长度都是有限值，在微镜电极的四条边界上都会产生边缘效应。因此，可以将微镜所受的 静电驱动力分为三部分：①在平行板内部的均匀电场产生的无穷大板静电力项；②由于宽度a为有限值， AB和CD边界处不均匀的边缘电场产生的静电力修正项；③由于长度L为有限值，AD和BC边界处不均 匀的边缘电场产生的静电力修正项。在图2(b)中取一个宽度为 d 的微元，其电场的分布如图3所示。 ab、