薄膜力学性能素材.ppt

* 在表面涂覆技术中，覆材与基材通过一定的物理化学作用结合在一起，存在于两者界面上的结合力随涂覆类型的不同有着较大的差异。这些力既可以是主价键力，也可以是次价键力。主价键力又称为化学键力，存在于原子(或离子)之间，包括离子键力、共价键力及金属键力；次价键力又称为分子间的作用力，包括取向力、诱导力、色散力，合称为范德华力。 2. 涂层与基体界面间的结合力 * 材料的润湿性能 界面元素的扩散情况 基体表面的状态 膜内的应力状态 此外，涂敷的工艺参数、覆材粒子与基体表面的活化状态、覆层结晶质量等因素对覆层的结合性能也有不同程度的影响。 3. 影响界面结合强度的因素 * 二、界面断裂韧性的测量方法 1. 胶带法 胶带法是Strong于1935年提出的一种测量薄膜界面结合强度的方法，Strong用此方法测试了铝膜/玻璃基体的结合强度，具体做法如下：先把具有粘着能力的胶带贴到薄膜表面上，然后剥离胶带，测出其施加的力，并观察残留在基体上与胶带上薄膜材料的残余量，从而得出薄膜对基体的附着强弱，胶带法只能得出定性的结论，且当薄膜的结合强度超过胶带时，该方法完全失去作用。 * 2. 拉张法 拉张法通过施加一与薄膜和基体界面相垂直的拉张力来从基体上剥离薄膜，根据剥离时所施加的拉张力定出附着力。具体来说，在薄膜的表面上粘结一平滑的圆板再把基体固定住，然后再圆板相垂直的方向施加一拉力使薄膜从基片上脱落，同时测出剥离时所加的力。 * 3. 划痕法 在所有测试方法中，划痕法是目前较为成熟的，也是应用最广泛的一种。它的定量精度较高，监控破坏点的手段也较多。 划痕法测试时压头以一定的速度在试样表面划过，同时作用于压头上的垂直压力逐步或连续地增大直到薄膜脱离。实际在划痕内只有很少量的薄膜是完全剥落的，因此该方法十分便于膜/基界面临界载荷（ ）的确定。 * 划痕法中，作用在压头上的垂直压力加载方式有两种：步进式和连续式。涂层从基体剥落的最小压力称为临界载荷，记为 　　。 　　划痕法是采用金刚石划针（椎角110o，曲率半径0.2mm）在恒定或连续增加的正应力作用下，以一定的速度刻划涂层表面，直至发生膜层结合的破坏，以对应得临界载荷 作为膜基结合强度的度量。 其中临界载荷的确定方法有 显微观察法 微区成分分析法 声发射法 切向摩擦力法 * 4. Shear lag 模型 　　对于韧性基体，膜内存在裂纹时，膜是否从基体上脱落，取决于界面结合能力和基体的屈服强度。 和 分别是薄膜的断裂强度和基体的屈服强度，当 时，可用shear lag模型得到界面结合强度 其中， 为膜厚， 裂纹间距， 为裂纹密度， 为界面剪切强度 界面断裂韧性 满足 (4.71) (4.72) (4.73) * Suo-Hutchinson给出材料界面裂纹的能量释放率满足下面关系 而应力强度因子与能量释放率的关系为 (4.74) (4.75) 5. Suo-Hutchinson模型 * 6. 气泡法 准备试样前，在平整的基体上预制一个穿透孔，然后将薄膜沉积到该基体上。 理论模型的示意图如图所示，在油压q的逐渐加大过程中，界面裂纹将逐渐扩展，薄膜将逐步被剥离。 q * 我们假设被剥离的部分是各向同性的半径为a的固支圆板，用von Karman非线性板理论来分析被剥离的部分。这样在外载荷油压q的作用下，圆板中的应变能为 我们应用Euler-Lagrange变分原理可以得到在固支边界条件下关于位移 和 的Euler-Lagrange耦合微分方程，由这个微分方程可以容易得到 和 ,从而，进一步可以得到无量纲的膜应力 和无量纲的弯矩 分别为 (4.79) (4.80) * 对于比较小的外载荷q ，我们有圆板中心点的挠度值为 另一方面在无量纲的膜应力和无量纲的弯矩的作用下，界面裂纹的能量释放率由Suo和Hutchinson得到的结果为，如果用无量纲的形式表示则为 进一步，我们也可以得到只依赖于无量纲参数 的数据拟合公式为 (4.81) (4.82) (4.83) (4.84) * 无量纲参数 为 这里 是薄膜的厚度。由于界面裂纹是混合型裂纹，我们用相角表示裂纹I和裂纹II的贡献 (4.85) (4.86) * 4.4 薄膜的硬度 目前针对薄膜的硬度广泛采用的方法是纳米压痕法。发展纳米压痕技术的原动力在于：当压痕的形貌尺寸减至百纳米级，利用扫描电镜找到并测量压痕费时费力，且测量误差较大，直接利用测量得到的连续载荷