晶体管的等比例缩小-半导体科技.PDF

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2017-08-05 发布于天津
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晶体管的等比例缩小-半导体科技

Semiconductor Manufacturing ,CMOS FEOL Id V -V I g t d 1 Vt 0.2V W Vchan / L / Transistor drive current I = W C (V -V ) * V d ox g t chan W/L L SiGe a) V b) c) SiC g 1.0 V Id 0.1 V 0.9 V R Vchan para S i 1. I aV b), c) d chan Ge SiGe /S/D WL // PMOS SiC / W/L C NMOS CuW 110 100 / [1] / Bill Taylor, Chris Hobbs, SEMATECH, high-k /HK+